検査装置及び検査方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-254610
公開番号（公開出願番号）：特開2009-086920
出願日： 2007年09月28日
公開日（公表日）： 2009年04月23日
要約：

【課題】探索画像中にテンプレートと類似したパターンが存在する場合でも正確なマッチング位置を出力する検査装置及び方法を提供する。【解決手段】画像探索部にテンプレート選択画像におけるテンプレートの相対位置と探索画像における現在探索中の場所の相対位置を比較してその位置ずれ量を出力する相対位置比較部を有し、マッチング位置決定部において探索画像類似度分布情報のみならず、前記位置ずれ量をも考慮しマッチング位置を決定する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

探索画像を取得し、その探索画像に対してテンプレート・マッチングを施す検査装置であって、テンプレート選択画像におけるテンプレートの相対位置を記憶する記憶部と、テンプレート・マッチングの際に探索画像におけるテンプレートとの類似度の分布を計算する類似度分布計算部と、前記記憶部から前記テンプレートの相対位置を取得し、前記探索画像における探索位置の相対位置と前記テンプレート選択画像におけるテンプレートの相対位置のずれである位置ずれ量を計算する位置ずれ量計算部と、前記探索画像における前記テンプレートとの類似度の分布と前記位置ずれ量とに基づいてマッチング位置を決定するマッチング位置決定部と、を備えることを特徴とする検査装置。

IPC (4件)：

G06T 7/00 , G01B 11/00 , G01B 15/00 , G06T 1/00

FI (4件)：

G06T7/00 300D , G01B11/00 H , G01B15/00 K , G06T1/00 300

Fターム (34件)：

2F065AA03 , 2F065AA07 , 2F065AA14 , 2F065AA20 , 2F065BB02 , 2F065CC19 , 2F065FF04 , 2F065JJ03 , 2F065QQ38 , 2F065QQ41 , 2F067AA07 , 2F067AA13 , 2F067AA21 , 2F067BB04 , 2F067CC17 , 2F067HH06 , 2F067RR35 , 2F067RR44 , 5B057AA01 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057DA07 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5B057DC04 , 5B057DC33 , 5L096BA03 , 5L096EA03 , 5L096EA16 , 5L096FA34 , 5L096FA69 , 5L096JA03 , 5L096JA09

引用特許：

出願人引用 (2件)

濃淡パターンマッチング装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-272616 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
特開昭61-98483号公報

審査官引用 (2件)

半導体検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-251438 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
画像認識方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-038889 出願人：ダイキン工業株式会社

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