特許
J-GLOBAL ID：200903093580290721
波長可変半導体レーザ素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-269126
公開番号（公開出願番号）：特開平9-092934
出願日： 1995年09月23日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【課題】 加熱により等価屈折率が変化可能な受動導波路部を有する波長可変半導体レーザにおいて、受動導波路部の温度を検出する温度センサの検出精度が低く、波長を高精度に制御することが困難となる。【解決手段】 加熱により等価屈折率が変化可能な受動導波路部2の表面に加熱手ヒータ23と温度センサ20とを薄膜技術により一体的に搭載し、温度センサ20の出力に基づいて加熱ヒータ23を制御して受動導波路部2の温度を制御する。温度センサ20は受動導波路部2の表面に一体的に形成されているため、外部環境温度や活性層領域1で発生する熱等による温度の影響をほとんど受けることがなく、受動導波路部2の温度を高精度に制御でき、発振出力波長を高精度に制御することが可能となる。
請求項（抜粋）：
レーザを発振する活性層領域と、これに隣接配置されて加熱により等価屈折率が変化可能な受動導波路部とを備える半導体レーザ素子において、前記受動導波路部の表面に加熱手段と温度センサとを一体的に搭載したことを特徴とする波長可変半導体レーザ素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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