特許
J-GLOBAL ID:200903093599176733
光学部品およびレーザー並びに露光装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
柳田 征史 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-251405
公開番号(公開出願番号):特開2001-070787
出願日: 1999年09月06日
公開日(公表日): 2001年03月21日
要約:
【要約】【課題】 レーザーの長期経時信頼性を向上させ、またその寿命を長くする。【解決手段】 共振器内に配される光学部品14、16、17の、発振光またはその波長変換波19の照射を受ける少なくとも1つの面14a、14b、16a、16b、17a、17bの最表部に、この光19の照射を受けて光触媒効果を発現するCrイオン注入TiO2 膜等の機能性膜40を設ける。
請求項(抜粋):
光照射を受ける少なくとも1つの面の最表部に、この光照射を受けて光触媒効果を発現する機能性膜が設けられていることを特徴とする光学部品。
IPC (7件):
B01J 23/26
, B01J 21/06
, B01J 35/02
, G02B 1/10
, H01L 21/027
, H01S 3/08
, H01S 5/10
FI (8件):
B01J 23/26 M
, B01J 21/06 M
, B01J 35/02 J
, H01S 3/08
, H01S 5/10
, G02B 1/10 Z
, H01L 21/30 503 G
, H01L 21/30 515 B
Fターム (36件):
2K009BB02
, 2K009BB04
, 2K009CC03
, 2K009EE05
, 4G069AA02
, 4G069AA08
, 4G069BA04A
, 4G069BA48A
, 4G069BC50A
, 4G069BC54A
, 4G069BC58A
, 4G069CA01
, 4G069CA10
, 4G069CA11
, 4G069DA06
, 4G069EA08
, 5F046BA03
, 5F046CA03
, 5F046CB01
, 5F046CB22
, 5F072AB02
, 5F072JJ03
, 5F072JJ09
, 5F072KK06
, 5F072KK08
, 5F072KK12
, 5F072KK26
, 5F072PP07
, 5F072QQ02
, 5F072TT05
, 5F072TT11
, 5F073AA62
, 5F073AA84
, 5F073CA02
, 5F073DA14
, 5F073EA28
引用特許: