特許

J-GLOBAL ID：200903093612797793

固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法及びカラー固体撮像素子の製造方法

発明者： 狭山 征博
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-232717
公開番号（公開出願番号）：特開2000-066016
出願日： 1998年08月19日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 顔料含有型レジストのみ或いは染料含有型レジストのみを用いた場合に存する、色素を成す粒子の粒径を小さくしにくい、感光液溶媒に混ぜたときにゲルが生じるという問題或いは耐光性、耐熱性が低いという問題の軽減を図る。【解決手段】 一部の色、例えばマゼンタMgのカラーフィルタを感光性着色顔料レジスト8mにより、他の色、例えばシアンCy、イエローYeのカラーフィルタを感光性着色染料レジスト9c、9yにより形成する。そして、感光性着色顔料レジスト8mによるカラーフィルタの形成よりも感光性着色染料レジスト9c、9yによるカラーフィルタの形成を後にする。

請求項（抜粋）：

複数色のカラーフィルタのうちの一部の色のカラーフィルタを感光性着色顔料レジストにより、他の色のカラーフィルタを感光性着色染料レジストにより形成することを特徴とする固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法。

IPC (4件)：

G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 505 ,  H01L 27/14 ,  H04N 9/07

FI (4件)：

G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 505 ,  H04N 9/07 D ,  H01L 27/14 D

Fターム (31件)：

2H025AA10 ,  2H025AA11 ,  2H025AB13 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025CC12 ,  2H025CC13 ,  2H025DA09 ,  2H048BA45 ,  2H048BA47 ,  2H048BB02 ,  2H048BB46 ,  4M118AA08 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA32 ,  4M118EA01 ,  4M118FA06 ,  4M118FA08 ,  4M118GB11 ,  4M118GC08 ,  4M118GC09 ,  4M118GC17 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C065BB42 ,  5C065EE06 ,  5C065EE07 ,  5C065EE20

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 固体撮像素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-301420   出願人：ソニー株式会社
• カラーフィルタの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-215081   出願人：ソニー株式会社