特許
J-GLOBAL ID:200903093624356202
感光性樹脂組成物、それを用いた感光性フィルム、及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
小林 正明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-275744
公開番号(公開出願番号):特開2005-037754
出願日: 2003年07月17日
公開日(公表日): 2005年02月10日
要約:
【課題】 優れた解像度性を有すると共に、優れた耐熱性、耐薬品性、耐水性、耐溶剤性、及び電気絶縁性を発現するアルカリ現像型フォトソルダーレジストとして好適な感光性樹脂組成物、それを用いた感光性フィルムおよびその製造方法の提供。【解決手段】 平均粒径0.05〜4.5μmのフェノールフィラー(A)、アルカリ可溶型光重合性樹脂(B)、光重合性モノマー(C)、光重合開始剤および(または)光重合促進剤(D)、およびエポキシ基を有する他の化合物(E)を含有する感光性樹脂組成物、該組成物を支持体に塗布した感光性フィルムおよび該感光フィルムの製造方法。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
平均粒径0.05〜4.5μmのフェノールフィラー(A)、アルカリ可溶型光重合性樹脂(B)、光重合性モノマー(C)及びエポキシ基を有する光重合性を有しない化合物(D)を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (4件):
G03F7/004
, C08F291/00
, G03F7/027
, G03F7/038
FI (5件):
G03F7/004 501
, G03F7/004 512
, C08F291/00
, G03F7/027 515
, G03F7/038 501
Fターム (29件):
2H025AA06
, 2H025AA10
, 2H025AA20
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC32
, 2H025BC42
, 2H025BC53
, 2H025BC54
, 2H025BC74
, 2H025CA01
, 2H025CA27
, 2H025CC20
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 4J026AA17
, 4J026AA54
, 4J026AB01
, 4J026AB04
, 4J026AC00
, 4J026AC22
, 4J026BA27
, 4J026BA28
, 4J026BA30
, 4J026BA50
, 4J026DB36
, 4J026GA06
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (8件)
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