特許
J-GLOBAL ID：200903093658790645
角速度センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-363116
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174265
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：
【要約】【課題】 センサの稼働時および外乱加速度が加わった場合に、接続部分に応力集中が生じにくく、さらにバネや櫛歯の破壊強度が向上し、耐久性の高い角速度センサを実現する。【解決手段】 少なくとも、支持枠1と、支持枠1に固定された支持基板10と、支持枠1に懸吊バネ3を介して連結された2つの第一の振動体2と、2つの第一の振動体2を連結する連結バネ5と、各々の第一の振動体2に振動バネ6を介して連結された第二の振動体5と、第二の振動体5に連結された可動櫛歯9と、支持基板10に固定された固定電極7と、固定電極7に連結された固定櫛歯8との複数のセンサ構成素子を備え、上記何れかのセンサ構成素子が少なくとも上記他の一つのセンサ構成素子と連結される部分を円弧状に成形したものである。
請求項（抜粋）：
少なくとも、支持枠と、この支持枠に固定された支持基板と、この支持枠に懸吊バネを介して連結された2つの第一の振動体と、2つの第一の振動体を連結する連結バネと、前記各々の第一の振動体に振動バネを介して連結された第二の振動体と、この第二の振動体に連結された可動櫛歯と、前記支持基板に固定された固定電極と、この固定電極に連結された固定櫛歯とからなる複数のセンサ構成素子を備え、上記何れかのセンサ構成素子が少なくとも上記他の一つのセンサ構成素子と連結される部分を円弧状に成形したことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2F105AA10
, 2F105BB04
, 2F105BB12
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD13
審査官引用 (3件)
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回転角速度センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-306238
出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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回転率センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-191072
出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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振動子
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-303069
出願人：株式会社村田製作所
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