回転率センサ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-191072
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033557
出願日： 1996年07月19日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【課題】回転率センサにおいて、振動子の変位をストッパを設けることによって制限し、それによってセンサの運転の信頼性及びセンサの強靭性を高めることができるようにする。【解決手段】このため振動子(4)の変位を制限するストッパが、多層基板(10)から組織パターン加工されている。

請求項（抜粋）：

多層基板から成る回転率センサであって、下方の珪素層(1)上には絶縁作用を有する犠牲層(2)が、該犠牲層(2)上には上方の珪素層(3)がそれぞれ装着されており、多層基板から振動ビーム(5)に懸吊された振動子(4)が組織パターン加工されており、振動子(4)を励振して第1の方向の振動を発生させるための手段が設けられており、振動子(4)の上には加速度センサ(25)が配置されている形式のものにおいて、多層基板(10)から、振動子(4)の変位を制限するストッパ(41,42,43)が組織パターン加工されていることを特徴とする回転率センサ。

IPC (2件)：

G01P 9/04 , G01C 19/56

FI (2件)：

G01P 9/04 , G01C 19/56

引用特許：

審査官引用 (10件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-143148 出願人：株式会社村田製作所
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-153806 出願人：株式会社村田製作所
微小可動機械とその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-014405 出願人：日本電気株式会社

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