特許

J-GLOBAL ID：200903093662580752

ITO焼結体の製造方法

発明者： 高原 俊也 ,  近藤 昭夫
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-225886
公開番号（公開出願番号）：特開平7-076772
出願日： 1993年09月10日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：

【要約】【目的】【構成】 酸化インジウムと酸化スズとからなる粉末を成形して得られる成形体を酸素雰囲気中で加圧焼結してITO焼結体を製造するに際し、焼結開始時より炉内に酸素ガスを0.3cm/分以上の線速で連続的に供給する。【効果】 焼結前の成形体中に存在する酸化スズの蒸発を抑制し、酸素の成型体中における拡散が可能となるため、ITOの焼結を促進させ、十分な密度上昇効果が得られる。

請求項（抜粋）：

酸化インジウム(In2O3)と酸化スズ(SnO2)とからなる粉末を成形して得られる成形体を酸素雰囲気中で加圧焼結することによりITO焼結体を製造するに際し、焼結開始時より炉内に酸素ガスを0.3cm/分以上の線速で連続的に供給することを特徴とするITO焼結体の製造方法。

IPC (4件)：

C23C 14/34 ,  C04B 35/495 ,  C04B 35/457 ,  C04B 35/64

FI (3件)：

C04B 35/00 J ,  C04B 35/00 R ,  C04B 35/64 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-160047
  
• ITO焼結体及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-186904   出願人：住友金属鉱山株式会社, 住友石炭鉱業株式会社
• 高密度ITO焼結体及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-200251   出願人：住友金属鉱山株式会社, 株式会社湘南電子材料研究所