特許
J-GLOBAL ID：200903093712148865

ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法

発明者：
伊藤 博仁

伊藤 博仁 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 西山 恵三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-071818
公開番号（公開出願番号）：特開2000-267732
出願日： 1999年03月17日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】【課題】 適切な非干渉化指令を発生させ、ある駆動軸を駆動した際に他の軸に発生する変位を充分に除去し、位置決め時間の短縮、姿勢変動の低減を図る。【解決手段】 本発明のステージ装置は、複数の駆動軸に沿って移動可能なステージと、ステージを各駆動軸に沿って駆動する駆動機構と、可動ステージの各駆動軸についての位置または速度を検出する検出器と、各駆動軸について検出器により検出された位置または速度を所定の目標値に一致させるべく駆動機構に指令を与える補償器と、ある駆動軸について該ステージを駆動した際に他の駆動軸について発生する該ステージの変位を打消す指令を、該ある駆動軸の該補償器が発生した指令に基づいて発生させる非干渉化手段と、該他の駆動軸についての補償器が発生した指令値と非干渉化手段が発生した指令値を加算し、駆動機構に出力する加算手段とを有し、非干渉化手段がハイパスフィルタを有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
複数の駆動軸に沿って移動可能なステージと、該ステージを各駆動軸に沿って駆動する駆動機構と、該ステージの各駆動軸についての位置または速度を検出する検出器と、各駆動軸について該検出器により検出された位置または速度を所定の目標値に一致させるべく該駆動機構に指令を与える補償器と、ある駆動軸について該ステージを駆動した際に他の駆動軸について発生する該ステージの変位を打消す指令を、該ある駆動軸の該補償器が発生した指令に基づいて発生させる非干渉化手段と、該他の駆動軸についての補償器が発生した指令値と該非干渉化手段が発生した指令値を加算し、該駆動機構に出力する加算手段とを有し、該非干渉化手段がハイパスフィルタを有することを特徴とするステージ装置。
IPC (4件)：
G05D 3/12 ,  B23Q 15/22 ,  G05D 3/00 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G05D 3/12 W ,  B23Q 15/22 ,  G05D 3/00 Q ,  H01L 21/30 503 A
Fターム (27件)：
3C001KA01 ,  3C001TA04 ,  3C001TB01 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC06 ,  5F046CC13 ,  5F046CC16 ,  5F046DA07 ,  5F046DB05 ,  5F046DC10 ,  5H303AA06 ,  5H303BB02 ,  5H303BB08 ,  5H303CC01 ,  5H303DD04 ,  5H303EE03 ,  5H303EE07 ,  5H303FF06 ,  5H303GG13 ,  5H303HH01 ,  5H303HH07 ,  5H303KK02 ,  5H303KK17 ,  5H303KK31 ,  5H303MM05
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM