ダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石井陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-375446
公開番号（公開出願番号）：特開2000-177046
出願日： 1998年12月15日
公開日（公表日）： 2000年06月27日
要約：

【要約】【課題】金型、工具等のダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材において、高温条件下の使用にても、母材とダイヤモンド状炭素膜との密着性を向上させ、その寿命を向上させる。【解決手段】母材とダイヤモンド状炭素膜との間に、周期表第5A族金属、第6A族金属、Ti、Zrを主成分とする金属膜(母材側)とSiおよびCを含有する炭化けい素系膜(ダイヤモンド状炭素膜側)の積層膜を中間層として介在させたダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材とする。

請求項（抜粋）：

母材上にダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材であって、母材上に周期表第5A族(5族)金属、第6A族(6族)金属、TiおよびZrから選ばれる少なくとも1種を主成分とする金属膜を有し、この金属膜上にけい素および炭素を含有する炭化けい素系膜を有し、この炭化けい素系膜上にダイヤモンド状炭素膜を有するダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材。

IPC (4件)：

B32B 15/04 , B22C 3/00 , C23C 14/06 , C23C 16/27

FI (6件)：

B32B 15/04 Z , B22C 3/00 E , C23C 14/06 N , C23C 14/06 B , C23C 14/06 F , C23C 16/26 A

Fターム (51件)：

4E092AA01 , 4E092AA05 , 4E092AA09 , 4E092GA10 , 4F100AA16C , 4F100AA37D , 4F100AB01B , 4F100AB11 , 4F100AB12B , 4F100AB13B , 4F100AB19B , 4F100AB20B , 4F100AT00A , 4F100BA04 , 4F100BA07 , 4F100EH66 , 4F100GB51 , 4F100GB90 , 4F100JJ03 , 4F100JK09 , 4F100JK10 , 4F100JM02B , 4F100JM02C , 4F100JM02D , 4F100YY00C , 4K029AA02 , 4K029BA02 , 4K029BA07 , 4K029BA11 , 4K029BA16 , 4K029BA17 , 4K029BA34 , 4K029BA56 , 4K029BB02 , 4K029BC00 , 4K029BC02 , 4K029BD05 , 4K030BA06 , 4K030BA12 , 4K030BA13 , 4K030BA17 , 4K030BA18 , 4K030BA19 , 4K030BA20 , 4K030BA22 , 4K030BA28 , 4K030BA37 , 4K030BB12 , 4K030CA02 , 4K030LA01 , 4K030LA21

引用特許：

審査官引用 (10件)

円筒状部材の内周面への被膜形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-274878 出願人：シチズン時計株式会社
特開平1-317197
特開平1-317197

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