特許
J-GLOBAL ID：200903093746805849

屈折率分布の測定装置及び屈折率分布の測定方法

発明者：
上田 健

上田 健 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-061119
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258292
出願日： 1999年03月09日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：
【要約】【課題】 屈折率分布の測定において、測定データと被検物の形状データを重ね合わせることが簡単にできる装置を提供する。【解決手段】 光源1と、被検物Oとほぼ同じ屈折率の試液Sを有する被検物保持装置10と、被検物を透過した被検波から干渉縞を形成する干渉計と、該干渉縞像を結像させる結像光学系13’と、被検物を移動する移動装置37と、干渉縞検出器15と、演算手段39と、上記結像光学系に入射する第2の光源25と、基準板29とを有する構成。測定に先だって基準板29の像を干渉縞検出器15上に結像させ、像の倍率を求め、測定データと形状とを重ね合わせられるようにする。
請求項（抜粋）：
可干渉光を射出する光源と、該光源から射出された光束上に配置され被検物とほぼ同じ屈折率の試液を有するとともに相互に平行な入射口と射出口とを有する被検物保持装置と、被検物を透過した被検波から被検物の1測定断面について干渉縞を形成する干渉計と、該干渉計で形成された干渉縞像を結像させる結像光学系と、被検物を上記1測定断面と交叉する方向に移動する移動装置と、干渉縞像の結像位置に設けられた干渉縞検出器と、該干渉縞検出器の出力から屈折率分布を算出する演算手段と、上記結像光学系に入射する第2の光源と、該第2の光源と上記光学系との間に設けられた基準板とを有することを特徴とする屈折率分布の測定装置。
Fターム (1件)：
2G086FF06
引用特許：
審査官引用 (5件)
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