基板処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-019154
公開番号（公開出願番号）：特開平10-308432
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：

【要約】【課題】カセットにノーマルピッチにて収容された基板をハーフピッチに変換して取り扱う基板処理装置を提供する。【解決手段】カセットCにノーマルピッチにて収容された基板Wを取り出して洗浄処理ユニット4Uにて洗浄する基板処理装置1において、載置されたカセットCから基板Wを突き上げて基板搬送ロボット3へと渡す2つの突上機構23a、23bの位置を移動可能とする。また、突上機構23aと突上機構23bとが基板Wを突き上げる位置をハーフピッチだけずらす。これにより、2つの突上機構23a、23bから順に突き上げられる基板Wが基板搬送ロボット3にてハーフピッチにて保持され、洗浄処理ユニット4Uにて基板Wをハーフピッチに配列された状態で取り扱うことが可能となる。その結果、ピッチを変換する装置が不要となり、基板Wへのパーティクルの付着や基板Wの破損を低減することができる。

請求項（抜粋）：

第1ピッチにて平行配置された基板群に所定の処理を施す基板処理装置であって、(a) それぞれが所定数の基板を前記第1ピッチの整数倍である第2ピッチにて収容可能な複数のカセットを、前記第1ピッチずつずれた複数の受渡位置へと順に移動させるカセット移動手段と、(b) 前記複数の受渡位置のそれぞれにて前記所定数の基板を保持して前記複数のカセットから取り出す受渡手段と、(c) 前記受渡手段から前記複数の受渡位置に対応する前記所定数の基板を順に複数回受け取ることにより、前記複数のカセットに収容されていた基板を前記基板群として保持し、保持された前記基板群を搬送する搬送手段と、(d) 前記搬送手段によって搬送されてきた前記基板群に前記所定の処理を施す処理手段と、を備えることを特徴とする基板処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07

FI (2件)：

H01L 21/68 D , B65G 49/07 L

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-103949
特開平2-228048
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-166465 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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