特許
J-GLOBAL ID：200903093749992640
クリーンルームの配線処理法及び配線ケーブル
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿部 龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-220585
公開番号（公開出願番号）：特開2001-052533
出願日： 1999年08月04日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】【課題】 配線ケーブルからの発生ガス量を抑え、クリーンルームの清浄度の向上を図る。【解決手段】 クリーンルームで使用される配線ケーブル1に接着剤を片面に塗布した高分子有機フイルム2、3で包み覆う。高分子有機フイルム2、3は、少なくとも片面に金属12を蒸着したものであり、さらに、金属12の上面に有機フィルム13をラミネートしたものである。
請求項（抜粋）：
クリーンルームで使用される配線ケーブルに接着剤を片面に塗布した高分子有機フイルムで包み覆うようにしたことを特徴とするクリーンルームの配線処理法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01B 7/02 H
, H01L 21/02 D
5G309QA01
, 5G309QA07
, 5G309QA08
