特許

J-GLOBAL ID：200903093780142956

耐プラズマ性部材およびその製造方法

発明者： 森田 敬司 ,  市島 雅彦 ,  村山 晴男 ,  内丸 知紀
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 松山 允之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-222448
公開番号（公開出願番号）：特開2002-037666
出願日： 2000年07月24日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：

【要約】【課題】 プラズマ曝露に対しても十分耐え、かつコストの低減が図られた耐プラズマ性部材およびその製造方法の提供。【解決手段】 耐プラズマ性部材の発明は、腐食性ガス下でプラズマに曝される少なくとも表面領域はイットリアを7〜17モル%の割合で分散・含有するジルコニア系焼結体から成ることを特徴とする。なお、表面領域の性状が気孔率2%以下、中心線平均粗さ(Ra)が2.5μm以下であることが望ましい。

請求項（抜粋）：

腐食性ガス下でプラズマに曝される少なくとも表面領域がイットリアを7〜17モル%の割合で分散・含有するジルコニア系焼結体から成ることを特徴とする耐プラズマ性部材。

IPC (5件)：

C04B 35/48 ,  B01J 19/02 ,  B01J 19/08 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (5件)：

C04B 35/48 Z ,  B01J 19/02 ,  B01J 19/08 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B

Fターム (37件)：

4G031AA03 ,  4G031AA08 ,  4G031AA12 ,  4G031BA26 ,  4G031GA03 ,  4G031GA11 ,  4G075AA23 ,  4G075AA53 ,  4G075AA63 ,  4G075BB05 ,  4G075BB10 ,  4G075BC02 ,  4G075BC04 ,  4G075BC06 ,  4G075BD14 ,  4G075CA02 ,  4G075CA25 ,  4G075CA42 ,  4G075CA62 ,  4G075DA18 ,  4G075EB01 ,  4G075EB42 ,  4G075EE21 ,  4G075FB01 ,  4G075FB20 ,  4G075FC09 ,  5F004AA16 ,  5F004BA09 ,  5F004BB13 ,  5F004BD04 ,  5F004BD05 ,  5F004DA01 ,  5F004DA23 ,  5F004DA26 ,  5F045AA08 ,  5F045BB15 ,  5F045EB03

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-189745   出願人：太平洋セメント株式会社
• 耐食性部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-201566   出願人：京セラ株式会社