真空バルブ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：猪股祥晃 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-158457
公開番号（公開出願番号）：特開2001-338557
出願日： 2000年05月29日
公開日（公表日）： 2001年12月07日
要約：

【要約】【課題】複数種類の材料の接する界面や溶接部においてき裂が発生することの少ない真空バルブを提供する。【解決手段】円筒状のセラミックス碍管1と、このセラミックス碍管1の端部に接合された円板状のシールリング2,3と、このシールリング2,3の中心を貫通する電極と、前記セラミックス碍管とシールリングとの接合部6を囲繞して設けられた金属キャップ7,8と、この金属キャップ7,8を包含して前記電極から前記セラミックス碍管1まで被覆する絶縁被覆9とを備えた構成とする。

請求項（抜粋）：

円筒状のセラミックス碍管と、このセラミックス碍管の端部に接合された円板状のシールリングと、このシールリングの中心を貫通する電極と、前記セラミックス碍管と前記シールリングとの接合部を囲繞して設けられた金属キャップと、この金属キャップを包含して前記電極から前記セラミックス碍管まで被覆する絶縁被覆とを備えたことを特徴とする真空バルブ。

Fターム (2件)：

5G026RA03 , 5G026RB05

引用特許：

出願人引用 (6件)

真空バルブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-089510 出願人：三菱電機株式会社
特開昭56-073827
特開昭55-108128

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審査官引用 (2件)

真空バルブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-089510 出願人：三菱電機株式会社
特開昭56-073827

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