特許
J-GLOBAL ID：200903093898472055

感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法

発明者：
村井 達彦

村井 達彦 について

, 
古川 忠宏

古川 忠宏 について


出願人/特許権者：
共同印刷株式会社

共同印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-060096
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258909
出願日： 1999年03月08日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：
【要約】【課題】 従来の感光性ポリイミドは、安定性および感光性の面で充分なものとは言えなかった。【解決手段】 カルボキシル基含有樹脂と、下記の一般式(1)で表されるアレーン化合物とを含有することを特徴とする。[(Ar)(CpM)2]2+2X- ・・・(1)(式中、Arはメタルシクロペンタジエニル化合物が2個以上配位可能な芳香族π-アレーン、Cpはシクロペンタジエンのアニオン、Mは金属のカチオン、X-はSbF6-、BF4- 、AsF6-及びPF6-からなる群から選ばれたいずれか1種である。)
請求項（抜粋）：
分子内にカルボキシル基を有する樹脂と、下記の一般式(1)[(Ar)(CpM)2]2+2X- ・・・(1)(式中、Arはメタルシクロペンタジエニル化合物が2個以上配位可能な芳香族π-アレーン、Cpはシクロペンタジエンのアニオン、Mは金属のカチオン、X-はSbF6-、BF4- 、AsF6-及びPF6-からなる群から選ばれたいずれか1種である。)で表されるアレーン化合物とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/029 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/004 503
FI (3件)：
G03F 7/029 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/004 503 Z
Fターム (19件)：
2H025AA00 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AB13 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BG00 ,  2H025CB25 ,  2H025CB43 ,  2H025CB52 ,  2H025EA04 ,  2H025EA10 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J002CM041 ,  4J002EZ006 ,  4J002GP03 ,  4J002HA05
引用特許：
審査官引用 (3件)

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