特許
J-GLOBAL ID：200903093988232681

ワイヤーソーの切削方法とその装置

発明者：
小川 健司

小川 健司 について

, 
鬼崎 和則

鬼崎 和則 について


出願人/特許権者：
住友金属工業株式会社

住友金属工業株式会社 について


代理人 (1件)： 池条 重信 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-172194
公開番号（公開出願番号）：特開2001-001248
出願日： 1999年06月18日
公開日（公表日）： 2001年01月09日
要約：
【要約】【課題】 複数のシリコン単結晶インゴットをワイヤーソーにてウェーハに切削する方法におけるウェーハの厚み、反り不良の低減など高精度な切削加工が可能なワイヤーソーの切削方法の提供。【解決手段】 各ワークを切削送り込み方向で位置をずらし、切り込みに時間差を設けてワークを順番に切り込むことにより、先に切り込むワークにワイヤーガイドの役目をさせ、ワイヤーの軌道を安定化させることが可能で、ワイヤーの軌道が安定した状態で別のブロックに切り込むことができ、厚みや反り不良の低減が可能で、ウェーハ品質、歩留まりの安定した加工が可能となる。
請求項（抜粋）：
所定間隔で配列された多条のワイヤー列に対して複数の被切削物を相対的に当接させて切削する切削方法において、切削初期の各被切削物への切り込みに時間差を設けたワイヤーソーの切削方法。
IPC (3件)：
B24B 27/06 ,  B28D 5/04 ,  H01L 21/304 611
FI (3件)：
B24B 27/06 F ,  B28D 5/04 C ,  H01L 21/304 611 W
Fターム (22件)：
3C058AA05 ,  3C058AA07 ,  3C058AA11 ,  3C058AA13 ,  3C058AB01 ,  3C058AB03 ,  3C058AB04 ,  3C058AB08 ,  3C058BA02 ,  3C058BA07 ,  3C058BA09 ,  3C058CA01 ,  3C058CB01 ,  3C058CB02 ,  3C058DA03 ,  3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069BB01 ,  3C069BC02 ,  3C069CA04 ,  3C069EA02 ,  3C069EA05
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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