特許
J-GLOBAL ID：200903094005734479
情報記録ディスク用スタンパー、その製造方法、情報記録ディスク、および情報記録ディスク製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-134073
公開番号（公開出願番号）：特開2000-322780
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：
【要約】【課題】 より微細なピットパターンを有する情報記録ディスクの製造に対応できる情報記録ディスク用スタンパーの製造方法の提供。【解決手段】 情報記録ディスク、例えばCD-ROM、のピットパターンに対応する凹凸面を、電子ビーム・フォトリソグラフィ法を用いてシリコン基板1に形成する。そして、過冷却液体温度域を有するアモルファス合金4を過冷却液体温度域に保ちつつシリコン基板1の凹凸面に押圧し、アモルファス合金4に成型転写面S1を形成する。過冷却液体温度域に保たれたアモルファス合金4は粘性が低いため、アモルファス合金4が微細な凹凸部分に充填され、転写精度の高い成型転写面S1が得られる。
請求項（抜粋）：
表面にピットを複数形成して情報を記録する情報記録ディスクをプレス方式で製作する際に用いる情報記録ディスク用スタンパーにおいて、前記ディスクのピットパターンに対応する成形転写面を、過冷却液体温度域を有するアモルファス合金としたことを特徴とする情報記録ディスク用スタンパー。
IPC (3件)：
G11B 7/26 511
, G11B 7/26 521
, G11B 7/24 511
G11B 7/26 511
, G11B 7/26 521
, G11B 7/24 511
5D029JA01
, 5D029JB26
, 5D121AA01
, 5D121CA05
, 5D121CB03
, 5D121EE26
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (12件)
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