特許
J-GLOBAL ID:200903094049384777
電子部品材料の品質管理方法
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (8件):
三好 秀和
, 三好 保男
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 川又 澄雄
, 中村 友之
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-058748
公開番号(公開出願番号):特開2004-271229
出願日: 2003年03月05日
公開日(公表日): 2004年09月30日
要約:
【課題】電子部品材料中に混入する微量な金属元素について、より正確で迅速な品質管理方法を提供する。【解決手段】電子部品材料から採取した試料に対し、質量分析装置を用いて特定金属元素の同位体存在比の検出を行う分析方法を用いて電子部品材料の品質管理を行う。また、電子部品の製造工程において、使用する電子部品材料から、定期的あるいは不定期に試料を採取し、各試料に対し、質量分析装置を用いて特定金属元素の同位体存在比を検出し、その同位体存在比の変動をモニタリングする。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
電子部品材料中の含有金属元素を検査するため、質量分析装置を用いて特定金属元素の同位体存在比を検出する分析方法を用いることを特徴とする電子部品材料の品質管理方法。
IPC (4件):
G01N27/62
, G01N1/28
, G01N31/00
, H01L21/02
FI (8件):
G01N27/62 D
, G01N27/62 F
, G01N27/62 G
, G01N27/62 V
, G01N31/00 T
, G01N31/00 Y
, H01L21/02 Z
, G01N1/28 X
Fターム (22件):
2G042AA01
, 2G042BA20
, 2G042BC02
, 2G042BC11
, 2G042BC13
, 2G042BC14
, 2G042CA10
, 2G042CB06
, 2G042EA01
, 2G042FA01
, 2G042FA04
, 2G042FB02
, 2G042GA04
, 2G042HA07
, 2G052AA00
, 2G052AB01
, 2G052AB22
, 2G052AD32
, 2G052AD46
, 2G052FD09
, 2G052GA24
, 2G052JA08
引用特許:
引用文献:
前のページに戻る