特許
J-GLOBAL ID：200903016701520601

誘導結合プラズマ質量分析装置及び方法

発明者：
阪田 健一

阪田 健一 について

, 
山中 一夫

山中 一夫 について


出願人/特許権者：
横河アナリティカルシステムズ株式会社

横河アナリティカルシステムズ株式会社 について


代理人 (1件)： 古谷 馨 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-370334
公開番号（公開出願番号）：特開2001-185073
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：
【要約】【課題】 プラズマ面の位置及び形状を制御可能で、マトリックス効果による減感又は増感を低減可能なICP-MS装置及び方法の提供。【解決手段】 ICP-MS装置100のインタフェース150は、スキマーコーン153の背後に順次配置される第1の引き出し電極156及び第2の引き出し電極157を含む。第1のイオン引き出し電極156にはプラズマと同程度の正の電圧と負の電圧との間で切り換え可能な電圧が印加され、第2のイオン引き出し電極157には負の電圧が印加される。
請求項（抜粋）：
プラズマを発生するための手段と、試料を前記プラズマに導入して被分析物のイオンを形成するための手段と、前記被分析物のイオンを前記プラズマから取り入れるための、スキマーコーンを含むインタフェース手段と、取り入れられた前記被分析物のイオンを移送するためのイオンレンズ手段と、及び移送された前記被分析物のイオンを分離及び検出するための測定手段とからなる誘導結合プラズマ質量分析装置であって、前記インタフェース手段が前記スキマーコーンの背後に順次配置される第1及び第2のイオン引き出し電極を少なくとも含み、前記第1のイオン引き出し電極に正及び負の間で切り換え可能な電圧が印加され、及び前記第2のイオン引き出し電極に負の電圧が印加されることを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。
IPC (2件)：
H01J 49/10 ,  G01N 27/62
FI (2件)：
H01J 49/10 ,  G01N 27/62 E
Fターム (6件)：
5C038GG09 ,  5C038GH11 ,  5C038GH13 ,  5C038GH15 ,  5C038JJ02 ,  5C038JJ11
引用特許：
審査官引用 (13件)
  • 誘導結合プラズマ質量分析装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-175427   出願人：横河電機株式会社
  • 特表平5-500286
  • 特表平5-500286
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引用文献：
審査官引用 (4件)
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