特許

J-GLOBAL ID：200903094062967552

静電容量式加速度センサ

発明者： 芦野 仁泰
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-042660
公開番号（公開出願番号）：特開平8-240609
出願日： 1995年03月02日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：

【要約】【目的】弾性体の中央部の可動電極の裏面に結合された重錘体に加わる加速度を可動電極と対向する固定基板上の固定電極との間の静電容量で検出する加速度センサの感度を、外形寸法を大きくしないで高くする。【構成】弾性体を可動電極と固定される外周部との間で複数の梁にすることにより、加速度によって弾性体に発生する応力を梁部に集中させ、大きくたわませて可動電極の変位を大きくし、感度を上げる。

請求項（抜粋）：

固定基板上に設けられた固定電極と、外周部が固定基板と所定の間隔を保って固定され、中央部の裏面側に重錘体が結合された弾性体の重錘体と反対側の表面に設けられた可動電極とが、誘電体を挟んで対向してなるコンデンサの静電容量値から、重錘体に加わる固定基板面に垂直方向の加速度を検出する静電容量式加速度センサにおいて、弾性体が可動電極と固定される外周部との間では等間隔で分散配置された複数の梁として形成されたことを特徴とする静電容量式加速度センサ。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-156241   出願人：株式会社村田製作所
• 特開平3-094168
  
• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-189548   出願人：山武ハネウエル株式会社