特許

J-GLOBAL ID：200903094072726642

板状部材加工用両面粘着シートおよび板状部材加工方法

発明者： 大橋 仁 ,  佐藤 陽輔
出願人/特許権者： リンテック株式会社
代理人 (2件)： 早川 裕司 ,  太田 昌孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-217623
公開番号（公開出願番号）：特開2009-132867
出願日： 2008年08月27日
公開日（公表日）： 2009年06月18日
要約：

【課題】板状部材から貼付対象物を容易に剥離することができ、かつ、高温下でも板状部材と貼付対象物との間で剥離・浮きが発生することを防止することのできる板状部材加工用両面粘着シートを提供する。【解決手段】基材2と、基材2の一方の面に積層され、硬質支持基板6が貼付される第1の粘着剤層3と、基材2の他方の面に積層され、半導体ウエハ7が貼付される第2の粘着剤層4とを備えた板状部材加工用両面粘着シート1であって、第1の粘着剤層3は、熱重量測定(TG)による150°Cにおける質量減少率が20%以下であるシリコーン化合物を含有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基材と、 前記基材の一方の面に積層された第1の粘着剤層と、 前記基材の他方の面に積層され、板状部材が貼付される第2の粘着剤層と を備えた板状部材加工用両面粘着シートであって、 前記第1の粘着剤層は、熱重量測定(TG)による150°Cにおける質量減少率が20%以下であるシリコーン化合物を含有する ことを特徴とする板状部材加工用両面粘着シート。

IPC (5件)：

C09J 7/02 ,  C09J 201/00 ,  C09J 11/08 ,  C09J 5/00 ,  H01L 21/304

FI (5件)：

C09J7/02 Z ,  C09J201/00 ,  C09J11/08 ,  C09J5/00 ,  H01L21/304 622J

Fターム (54件)：

4J004AA05 ,  4J004AA08 ,  4J004AA10 ,  4J004AA11 ,  4J004AA14 ,  4J004AB01 ,  4J004AB06 ,  4J004CA04 ,  4J004CA06 ,  4J004CB03 ,  4J004CC02 ,  4J004DB02 ,  4J004EA05 ,  4J004FA05 ,  4J004FA08 ,  4J040DF031 ,  4J040DF032 ,  4J040EK032 ,  4J040FA091 ,  4J040FA092 ,  4J040FA131 ,  4J040FA132 ,  4J040FA151 ,  4J040FA152 ,  4J040FA171 ,  4J040FA172 ,  4J040FA181 ,  4J040FA182 ,  4J040FA271 ,  4J040FA272 ,  4J040FA291 ,  4J040FA292 ,  4J040GA05 ,  4J040GA11 ,  4J040GA14 ,  4J040GA17 ,  4J040GA20 ,  4J040GA22 ,  4J040JA09 ,  4J040JB07 ,  4J040JB09 ,  4J040KA13 ,  4J040KA16 ,  4J040LA08 ,  4J040MA02 ,  4J040MA04 ,  4J040MA05 ,  4J040MB05 ,  4J040NA17 ,  4J040NA19 ,  4J040NA20 ,  4J040PA32 ,  4J040PA42 ,  4J040PB06

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特許第2613389号公報
  
• 接着性物質、接着性物質の剥離方法及び粘着テープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-202994   出願人：積水化学工業株式会社

審査官引用 (2件)

• 接着性シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-131047   出願人：バンドー化学株式会社
• 両面粘着シートおよび脆質部材の転写方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-075357   出願人：リンテック株式会社