特許
J-GLOBAL ID:200903094133674675
水素精製フィルタおよびその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
米田 潤三
, 皿田 秀夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-096821
公開番号(公開出願番号):特開2007-268404
出願日: 2006年03月31日
公開日(公表日): 2007年10月18日
要約:
【課題】水素精製において優れた水素透過効率を示す水素精製フィルタと、このようなフィルタを簡便に製造するための製造方法を提供する。【解決手段】水素精製フィルタを、孔部を複数有する多孔支持体の一方の面に配設されたPd層またはPd合金層と、このPd層またはPd合金層を介して孔部を覆うように多孔支持体の一方の面に配設されたPdまたはPd合金からなる水素透過膜とを備えた構造とし、このような水素精製フィルタは、膜形成工程にて、仮支持体の一方の平坦面にPdまたはPd合金からなる水素透過膜を形成し、エッチング工程にて、仮支持体を選択エッチングすることができる導電性部材からなる支持体部材に、両面エッチングにより複数の孔部を穿設して多孔支持体を作製し、接合工程にて、多孔支持体を水素透過膜に間隙を設けて対向させ、間隙部に電解めっきによりPdまたはPd合金を析出させてPd層またはPd合金層を形成することにより、多孔支持体を水素透過膜に接合して作製する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
孔部を複数有する多孔支持体と、該多孔支持体の一方の面に配設されたPd層またはPd合金層と、該Pd層またはPd合金層を介して前記孔部を覆うように前記多孔支持体の一方の面に配設されたPdまたはPd合金からなる水素透過膜とを備えることを特徴とする水素精製フィルタ。
IPC (4件):
B01D 71/02
, C01B 3/56
, B01D 69/10
, B01D 69/12
FI (4件):
B01D71/02 500
, C01B3/56 Z
, B01D69/10
, B01D69/12
Fターム (23件):
4D006GA41
, 4D006HA41
, 4D006JA03A
, 4D006JA03C
, 4D006MA03
, 4D006MA09
, 4D006MA31
, 4D006MB18
, 4D006MC02X
, 4D006NA33
, 4D006NA49
, 4D006NA50
, 4D006PA01
, 4D006PB18
, 4D006PB66
, 4D006PC80
, 4G140FA02
, 4G140FB04
, 4G140FC01
, 4G140FE01
, 5H027AA02
, 5H027BA01
, 5H027BA16
引用特許: