電気的に駆動される一体型マイクロバルブ

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-515803
公開番号（公開出願番号）：特表2001-502248
出願日： 1997年09月25日
公開日（公表日）： 2001年02月20日
要約：

【要約】流体流及び圧力を制御するため、電気的に駆動される一体型マイクとバルブを形成する。これらのバルブは、フレキシブルな壁(20)を備えるシールキャビティ(100)を有するエネルギー変換デバイス(120)を介して電気的エネルギーを機械的エネルギーに変換する。シールキャビティ(100)は、加熱・冷却されると膨張・収縮する流体(130)を含有しており、フレキシブルな壁(200)を運動させる。この壁(200)、すなわち膜の運動は、バルブ要素(300)を運動させるために用いられるとともに、所定の範囲にわたってバルブポートを開閉させるように、動的制御を行わせている。

請求項（抜粋）：

流体流入ポートと流体排出ポートとを備える流体ガイド構造と、該流体ガイド構造内に形成され、前記流体流入ポートと前記流体排出ポートとを連通する連通チャンネルと、該連通チャンネル内に形成され、前記流体流入ポートを前記流体排出ポートバルブに流体的に結合させるように介在する中間ポートと、前記連通チャンネル内で前記中間ポートに隣接するように可動に配置されたバルブ要素と、前記バルブ要素に機械的に連結されたフレキシブル膜を備え、入力されたエネルギーを機械的エネルギーに変換して前記バルブ要素に前記フレキシブル膜を介して前記中間ポートを開閉させて前記バルブを駆動させるエネルギー変換デバイスとを有する電気的に駆動される一体型マイクロバルブ。

IPC (4件)：

B81B 3/00 , F15C 3/04 , F15C 5/00 , F16K 31/02

FI (4件)：

B81B 3/00 , F15C 3/04 , F15C 5/00 , F16K 31/02 Z

引用特許：

審査官引用 (8件)

特公昭63-067114
特公昭63-067114
特表平4-506105

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