特許

J-GLOBAL ID：200903094201153565

搬送システムの搬送位置合わせ方法

発明者： 熊谷 元宏 ,  近藤 圭祐
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-344693
公開番号（公開出願番号）：特開2004-174669
出願日： 2002年11月27日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：

【課題】オペレータが位置精度良くマニュアルで調整する箇所を少なく済ますことができ、ティーチング操作を迅速に且つ高い位置合わせ精度で行うことができる搬送システムの位置合わせ方法を提供する。【解決手段】位置ずれ量を検出する位置合わせ機構26と、ピックA1,B1,B2を有する複数の搬送機構14,22と、搬送機構14,22間に配置された中継部8A,8Bと、搬送機構14,22等の動作を制御する制御部40と、を有する搬送システムの搬送位置合わせ方法において、位置合わせ用搬送物Wを、仮に決定されている搬送位置座標のポイントを1つ通る搬送経路を経由して位置合わせ機構へ搬送させてその位置ずれ量を求め、搬送位置座標を確定するようにし、そして、この工程を、仮に決定されている搬送位置座標がなくなるまで繰り返して行うようにする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

載置された被搬送物の中心位置の位置ずれ量を検出する位置合わせ機構と、前記被搬送物を搬送時に中継するための第1、第2中継部と、前記 被搬送物を保持するピックを少なくとも1つ有し、且つ前記位置合わせ機構及び前記第1、 第2中継部にアクセス可能な第1搬送機構と、前記被搬送物を保持するピックを少なくとも1つ有し、且つ前記第1、第2中継部にアクセス可能な第 2搬送機構とを有する搬送システムの搬送位置合わせ方法において、 前記各搬送機構の各ピックの、前記被搬送物を搬送するときの搬送位置座標を粗い精度で仮に決定する工程と、 前記位置合わせ機構に対する前記第1搬送機構の各ピックの搬送位置座標を確定する第1確定工程と、 前記位置合わせ機構以外に対する前記各搬送機構の各ピックの搬送位置座標の内の一部の搬送位置座標を確定する第2確定工程と、 位置合わせ用搬送物を、仮に決定されている搬送位置座標のポイントを1つ通る搬送経路を経由して前記位置合わせ機構へ搬送して、その位置ずれ量を求め、この位置ずれ量に基づいて前記仮に決定されている搬送位置座標を確定する第3確定工程と、 前記仮に決定されている搬送位置座標が全て確定されるまで前記第3確定工程を繰り返して行う第4確定工程と、 を有することを特徴とする搬送システムの搬送位置合わせ方法。

IPC (2件)：

B25J9/22 ,  H01L21/68

FI (2件)：

B25J9/22 Z ,  H01L21/68 A

Fターム (31件)：

3C007AS01 ,  3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007JU09 ,  3C007KS17 ,  3C007LS04 ,  3C007LS14 ,  3C007LS15 ,  3C007LT12 ,  3C007LV12 ,  3C007MT01 ,  5F031CA02 ,  5F031CA11 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA03 ,  5F031GA04 ,  5F031GA45 ,  5F031JA06 ,  5F031JA15 ,  5F031JA28 ,  5F031JA29 ,  5F031JA34 ,  5F031JA35 ,  5F031KA06 ,  5F031KA08 ,  5F031KA11 ,  5F031KA18 ,  5F031MA04 ,  5F031PA02 ,  5F031PA09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ロボットのティーチング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-009146   出願人：株式会社三協精機製作所
• 搬送ロボットの教示方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-009164   出願人：ソニー株式会社