特許
J-GLOBAL ID：200903094212686417

角速度についての振動マイクロ-メカニカルセンサー

発明者：
ブロムクヴィスト、アンッシ

ブロムクヴィスト、アンッシ について


出願人/特許権者：
ヴェーテーイー テクノロジーズ オサケユキチュア

ヴェーテーイー テクノロジーズ オサケユキチュア について


代理人 (1件)： 高島 一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-548849
公開番号（公開出願番号）：特表2008-527318
出願日： 2005年12月30日
公開日（公表日）： 2008年07月24日
要約：
本発明は、角速度の測定において用いられる測定デバイスに関し、より詳細には、角速度についての振動マイクロ-メカニカルセンサーに関する。本発明による角速度についてのセンサーでは、震動質量(1、2、36、37)がバネによってまたはバネと堅固な補助構造によって支持領域に接続され、これによって、震動質量によって形成されるウェハーの平面に垂直な回転軸に関する自由度、および、該ウェハーの平面に平行な少なくとも1つの回転軸に関する自由度が、震動質量(1、2、36、37)に与えられる。本発明によるこの角速度についてのセンサーの構造によると、信頼性が高くかつ効率的な測定が、とりわけコンパクトな角速度の振動マイクロ-メカニカルセンサーにおいて可能となる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
角速度についての振動マイクロ-メカニカルセンサーであって、 当該センサーは、2つの震動質量部(1)、(2)、(36)、(37)を有し、これら質量部は、センサー構成部品の本体に支持領域の所で取り付けられ、かつ、当該センサーは、該質量部(1)、(2)、(36)、(37)の間にある接続バネを有し、 角速度についての当該センサーの、生じるべき主運動は、支持領域に関する、2つの震動質量部(1)、(2)、(36)、(37)の逆位相の角振動であり、 該震動質量部(1)、(2)、(36)、(37)は、互いに少なくとも1つの曲がりバネ(11)、(50)によって接続されており、そのことが、それら質量部の主運動を機械的に同期させており、 該震動質量部(1)、(2)、(36)、(37)は、バネによってまたはバネと剛性を有する補助構造によって支持領域に接続されており、そのことが、震動質量部(1)、(2)、(36)、(37)に、それら質量部によって形成されるウェハーの平面に垂直な回転の軸に関する自由度と、前記ウェハーの平面の方向を向いた少なくとも1つの回転の軸に関する自由度とを与えている ことを特徴とする、前記角速度についての振動マイクロ-メカニカルセンサー。
IPC (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件)：
G01C19/56 ,  G01P9/04
Fターム (7件)：
2F105AA02 ,  2F105BB03 ,  2F105BB13 ,  2F105CC04 ,  2F105CC11 ,  2F105CD03 ,  2F105CD13
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 超小型精密振動レートジャイロスコープ
    公報種別：公表公報   出願番号：特願平9-542938   出願人：ザリージェンツオブザユニヴァーシティオブカリフォルニア
  • 特許第6294400号
  • 角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-099358   出願人：三菱電機株式会社

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