特許
J-GLOBAL ID:200903094220224163

ウエブの貼り付け方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 千葉 剛宏 ,  宮寺 利幸 ,  鹿島 直樹 ,  田久保 泰夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-278092
公開番号(公開出願番号):特開2007-083666
出願日: 2005年09月26日
公開日(公表日): 2007年04月05日
要約:
【課題】簡単な工程で、ウエブと基板との間に気泡が発生することを確実に阻止することができ、高品質な積層体を効率的且つ経済的に得ることを可能にする。【解決手段】感光性ウエブ22の貼り付け部位を貼り付け機構46の上流近傍の所定の位置に搬送して停止させる一方、ガラス基板24を所定位置に搬送して停止させた後、ゴムローラ110aの回転作用下に、前記感光性ウエブ22の搬送が開始される。この感光性ウエブ22が第1の速度で移動中に、ゴムローラ110a、110bにより前記感光性ウエブ22をガラス基板24と一体にクランプし、前記感光性ウエブ22及び前記ガラス基板24を第2の速度で移動しながら、ラミネート処理が行われる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
ウエブをラミネートローラの押圧回転作用下に基板に貼り付けるウエブの貼り付け方法であって、 前記ウエブの貼り付け部位を、貼り付け位置の上流近傍の所定位置に搬送して一旦停止させる工程と、 前記ウエブの搬送を開始し、前記ウエブを第1の速度で搬送させながら、前記ラミネートローラにより該ウエブを前記基板と一体にクランプする工程と、 前記ウエブ及び前記基板を第2の速度で搬送させながら、前記ラミネートローラの押圧回転により前記ウエブを前記基板に貼り付ける工程と、 を有することを特徴とするウエブの貼り付け方法。
IPC (3件):
B29C 63/02 ,  G03F 7/004 ,  B32B 37/16
FI (3件):
B29C63/02 ,  G03F7/004 512 ,  B32B31/04
Fターム (47件):
2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CA00 ,  2H025CB43 ,  2H025EA08 ,  4F100AK01A ,  4F100AK02 ,  4F100AK02J ,  4F100AK04 ,  4F100AK04J ,  4F100AK07 ,  4F100AK21 ,  4F100AK42 ,  4F100AL01 ,  4F100AT00B ,  4F100BA02 ,  4F100BA03 ,  4F100BA04 ,  4F100BA05 ,  4F100BA07 ,  4F100CA13 ,  4F100CA30 ,  4F100DG06A ,  4F100DG14A ,  4F100EJ192 ,  4F100GB41 ,  4F100GB43 ,  4F100JB14 ,  4F100JD03 ,  4F211AC03 ,  4F211AD04 ,  4F211AG01 ,  4F211AG03 ,  4F211AH36 ,  4F211AR07 ,  4F211SA03 ,  4F211SC06 ,  4F211SD01 ,  4F211SH06 ,  4F211SJ15 ,  4F211SJ29 ,  4F211SP06 ,  4F211SW23
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

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