カラーフィルタの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：中島淳 , 加藤和詳 , 西元勝一 , 福田浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-173756
公開番号（公開出願番号）：特開2006-349828
出願日： 2005年06月14日
公開日（公表日）： 2006年12月28日
要約：

【課題】着色層のドライエッチング処理と共にエッチング用パターンマスクをなすレジストの除去を可能とする。【解決手段】カラーフィルタを作製する際に、着色層のドライエッチング速度A(μm/min)及び層厚Aft(μm)、並びに感光性樹脂層のドライエッチング速度B(μm/min)及び層厚Bft(μm)が、Bft=k(B×Aft/A)の関係式を満たす。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

着色層上に感光性樹脂層を有する画像記録材料の少なくとも前記感光性樹脂層をパターン露光する工程と、パターン露光後の前記画像記録材料をアルカリ現像する工程と、アルカリ現像後の画像記録材料にドライエッチング処理を施して前記着色層にパターンを形成する工程とを有するカラーフィルタの製造方法であって、前記着色層のドライエッチング速度A(μm/min)及び層厚Aft(μm)、並びに前記感光性樹脂層のドライエッチング速度B(μm/min)及び層厚Bft(μm)が、下記関係式を満たすことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 Bft=k(B×Aft/A) 〔式中、kは0<k<1.1を満たす値を表す。〕

IPC (1件)：

G02B 5/20

FI (1件)：

G02B5/20 101

Fターム (12件)：

2H048BA02 , 2H048BA11 , 2H048BA45 , 2H048BA48 , 2H048BA52 , 2H048BA55 , 2H048BA57 , 2H048BA58 , 2H048BA66 , 2H048BB02 , 2H048BB07 , 2H048BB46

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平2-181704号公報
特開平2-199403号公報
顔料分散型カラーフィルター用組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-100155 出願人：日本合成ゴム株式会社

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審査官引用 (6件)

特開昭57-004012
ネガ型感光性熱硬化性着色樹脂組成物、それを用いた転写材料、及び画像形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-394526 出願人：富士写真フイルム株式会社
特開昭57-172304

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