光学式エンコーダー

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-233351
公開番号（公開出願番号）：特開2002-048602
出願日： 2000年08月01日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：

【要約】【課題】小型化と低価格化が実現された光学式エンコーダーを提供する。【解決手段】光学式リニアエンコーダー100は、移動検出のための光学系を含むエンコーダーヘッド102と、エンコーダーヘッド102に対して並進移動可能な可動スケール104とを備えており、これらは一定の間隔を置いて互いに平行に配置されている。可動スケール104は、光学的に透明な基板110の表面に形成された、移動検出用の光学パターン112と、基準位置検出用の光学パターン114とを備えている。エンコーダーヘッド102は、可干渉光源122と、移動検出用の光検出器124と、基準位置検出用の光検出器126とを備えている。可干渉光源122は例えば単体の面発光レーザーであり、例えば、光検出器124と光検出器126が形成された半導体基板120に、接着等の手段によって固定されている。

請求項（抜粋）：

所定周期の光学パターンが形成された可動スケールと、上記光学パターン面に所定形状の光ビームを略垂直に照射する可干渉光源と、上記光学パターンで反射された上記光源からの光ビームを受光して、上記光学パターンによって受光面に生成された回折パターンを検出する光検出手段とを有することを特徴とする光学式エンコーダー。

IPC (5件)：

G01D 5/38 , G01B 11/00 , G01D 5/36 , G02B 5/18 , G02B 5/32

FI (5件)：

G01D 5/38 A , G01B 11/00 G , G01D 5/36 T , G02B 5/18 , G02B 5/32

Fターム (59件)：

2F065AA02 , 2F065AA07 , 2F065AA09 , 2F065DD02 , 2F065FF02 , 2F065FF15 , 2F065FF42 , 2F065FF48 , 2F065FF49 , 2F065FF51 , 2F065GG04 , 2F065GG07 , 2F065GG12 , 2F065GG15 , 2F065HH15 , 2F065JJ02 , 2F065JJ05 , 2F065JJ18 , 2F065LL08 , 2F065LL10 , 2F065LL36 , 2F065LL42 , 2F103BA32 , 2F103CA01 , 2F103CA02 , 2F103CA04 , 2F103CA08 , 2F103DA01 , 2F103DA12 , 2F103DA13 , 2F103EA02 , 2F103EA12 , 2F103EA15 , 2F103EA19 , 2F103EA20 , 2F103EB02 , 2F103EB12 , 2F103EB16 , 2F103EB27 , 2F103EB32 , 2F103EB37 , 2F103EC01 , 2F103EC14 , 2H049AA07 , 2H049AA08 , 2H049AA13 , 2H049AA14 , 2H049AA26 , 2H049AA34 , 2H049AA37 , 2H049AA44 , 2H049AA55 , 2H049AA62 , 2H049AA65 , 2H049AA66 , 2H049CA05 , 2H049CA09 , 2H049CA18 , 2H049CA24

引用特許：

審査官引用 (2件)

面発光半導体レーザ及び面発光半導体レーザを用いた光学式エンコーダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-051189 出願人：オリンパス光学工業株式会社
光学式エンコーダおよび位置検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-129055 出願人：松下電器産業株式会社

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