ウェーハの平面加工装置及びその平面加工方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-040667
公開番号（公開出願番号）：特開2002-246347
出願日： 2001年02月16日
公開日（公表日）： 2002年08月30日
要約：

【要約】【課題】本発明は、吸着搬送手段からテーブルにウェーハを受け渡す際におけるウェーハの損傷を防止する【解決手段】本発明は、まず、吸着盤80で吸着保持した平面加工前のウェーハ26をテーブル48の上方位置に位置させる。次に、テーブル48でウェーハ26を真空吸引することにより、その吸引力によってテーブル48を、ウェーハ26を吸着する方向に上昇移動させてウェーハ26をテーブル48で真空吸着する。次いで、吸着盤80によるウェーハ26の吸着保持を解除することにより、ウェーハ26をテーブル48のみで吸着保持する。

請求項（抜粋）：

ウェーハの一方面を吸着保持するテーブルと、ウェーハを吸着保持する吸着盤を有し前記テーブルにウェーハを搬送する吸着搬送手段と、該テーブルに一方面が吸着保持されたウェーハの他方面を加工する加工部とを備えたウェーハの平面加工装置において、前記テーブルは、装置本体に上下移動自在に設けられるとともに、前記吸着盤に吸着保持された加工前のウェーハが、該テーブルの上方位置に位置した際に真空吸引されることにより、その吸引力によってウェーハを吸着する方向に上昇移動してウェーハを真空吸着し、前記吸着搬送手段は、前記ウェーハが前記テーブルに真空吸着されると、前記吸着盤によるウェーハの吸着保持を解除することを特徴とするウェーハの平面加工装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 622 , B24B 37/04 , B65G 49/07 , H01L 21/68

FI (5件)：

H01L 21/304 622 L , B24B 37/04 Z , B65G 49/07 G , H01L 21/68 B , H01L 21/68 P

Fターム (28件)：

3C058AB03 , 3C058CA01 , 3C058DA17 , 5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031GA08 , 5F031GA24 , 5F031GA32 , 5F031GA35 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031HA02 , 5F031HA13 , 5F031HA52 , 5F031HA59 , 5F031JA10 , 5F031JA32 , 5F031JA47 , 5F031LA12 , 5F031LA15 , 5F031MA22 , 5F031PA20

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭64-024440
特開平4-014849
ウエハの受け渡し装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-063928 出願人：株式会社岡本工作機械製作所

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