特許
J-GLOBAL ID：200903094345845143

弾性表面波デバイスとその製造方法

発明者：
松尾 聡

松尾 聡 について

, 
古賀 孝文

古賀 孝文 について

, 
村上 弘三

村上 弘三 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-085825
公開番号（公開出願番号）：特開2000-278082
出願日： 1999年03月29日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：
【要約】【課題】 接続電極と外部引出端子との電気的接続を確実に得ることのできる弾性表面波デバイスとその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 表面にアルミニウム膜を形成した水晶あるいはLiNbO3を用いて形成した圧電基板1のアルミニウム膜の表面を陽極酸化により酸化させて10〜37nmの厚みの酸化アルミニウム膜4を形成し、この上に所望の形状のIDT電極2及びこのIDT電極2に電気的に接続される接続電極3のレジストパターンを形成し、フォトリソ法によりIDT電極2及び接続電極3を形成して弾性表面波素子を得、外部引出端子6を有するパッケージ5内に接着剤9を用いて弾性表面波素子を固定し、接続電極3と外部引出端子6とをワイヤ7を超音波接合することにより、電気的に接続し、パッケージ5の開口部をリッド8で半田などの封止剤10を用いて封止した。
請求項（抜粋）：
外部引出端子を有するパッケージと、このパッケージ内に収納された圧電基板上に少なくともIDT電極及びこのIDT電極に電気的に接続された接続電極を形成した弾性表面波素子と、前記外部引出端子と前記接続電極とを電気的に接続するワイヤとを備え、前記圧電基板は水晶あるいはLiNbO3を用いて形成し、前記IDT電極及び前記接続電極の表面は10〜37nmの金属酸化膜で覆って構成した弾性表面波デバイス。
IPC (2件)：
H03H 9/25 ,  H03H 3/08
FI (2件)：
H03H 9/25 A ,  H03H 3/08
Fターム (13件)：
5J097AA26 ,  5J097AA28 ,  5J097DD01 ,  5J097DD24 ,  5J097DD29 ,  5J097FF01 ,  5J097FF05 ,  5J097HA02 ,  5J097HA04 ,  5J097HA07 ,  5J097HA09 ,  5J097KK01 ,  5J097KK10
引用特許：
審査官引用 (6件)
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