特許

J-GLOBAL ID：200903046376624337

感光性樹脂組成物と該組成物を用いたパターン形成方法

発明者： 前川 康成 ,  ラメス ラングラーデ ジュラルディン ,  石田 美奈 ,  岡部 義昭 ,  三輪 崇夫 ,  上野 巧
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-153918
公開番号（公開出願番号）：特開平10-003168
出願日： 1996年06月14日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【課題】光反応により極性が変化する添加剤を用いた高感度、高解像度、高強度で耐熱性の優れたアルカリ溶剤現像可能なポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】下式〔1〕(式中、R1はオルトキノンジアジドスルホニル基、R2は炭素数2〜30の有機基、R3は炭素数1〜8のアルキル基または水素、nは0〜5、mは1〜6)で表される化合物を全樹脂量100重量部に対して1〜100重量部と、下式〔2〕(式中、R4は炭素数2〜20の有機基、R5は炭素数1〜20の有機基、水素原子、ハロゲン原子のいずれかである)で表される構造単位を有する分子量10,000〜1,000,000のカルボン酸重合体を全樹脂量に対して20重量%以上含む感光性樹脂組成物。【化9】

請求項（抜粋）：

式〔1〕【化1】(式中、R1はオルトキノンジアジドスルホニル基、R2は炭素数2〜30のアルキル基,アリール基,アルキルアリール基,複素環基、R3は炭素数1〜8のアルキル基または水素、nは0〜5、mは1〜6を示す。)で表される化合物を全樹脂量100重量部に対して1〜100重量部と、式〔2〕【化2】(式中、R4は炭素数2〜20のアルキル基,アリール基,アルキルアリール基,複素環基、R5は炭素数1〜20のアルキル基,水素原子,ハロゲン原子を示す。)で表される構造単位を有し、分子量10,000〜1,000,000のカルボン酸重合体を全樹脂量100重量部に対して20重量部以上含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (5件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 501 ,  H01L 21/312 B ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (8件)

• 特開平4-218051
  
• 特開平4-070659
  
• 特開平4-204945
  
• 特開平4-204738
  
• 化学線感応性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-043705   出願人：東レ株式会社
• 特開平4-168441
  
• 感光性樹脂組成物とそれを用いたパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-120199   出願人：株式会社日立製作所, 日立化成工業株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた電子装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-132042   出願人：株式会社日立製作所, 日立化成工業株式会社