特許
J-GLOBAL ID：200903094389606731

洗浄ノズル及び基板洗浄装置

発明者：
平得 貞雄

平得 貞雄 について

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佐藤 雅伸

佐藤 雅伸 について

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安田 周一

安田 周一 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-160512
公開番号（公開出願番号）：特開2001-334181
出願日： 2000年05月30日
公開日（公表日）： 2001年12月04日
要約：
【要約】【課題】 洗浄ノズルからのパーティクルの発塵を抑制することができる洗浄ノズル及び基板洗浄装置を提供する。【解決手段】 洗浄ノズル7の混合部29の内壁部は平滑化処理が施された石英等で構成されて、その結果、混合部29の内壁部が滑らかな表面を有しているので、混合部29における内壁部の削れを抑制することができるとともに、洗浄ノズル7からのパーティクルの発塵をも抑制することができる。さらに洗浄ノズル7は、ガス導入管15bの外側を、供給管15aが取り囲む構造で構成されているので、混合部29で気体Gと洗浄ノズル7の内壁面との接触部分が低減されて、パーティクルの発塵の抑制をより一層図ることができる。
請求項（抜粋）：
洗浄液と加圧された気体とを混合してミストを形成する混合部と、前記混合部によって形成された前記ミストを吐出するノズルとを備えた洗浄ノズルにおいて、前記洗浄ノズルの少なくとも混合部の内壁面が滑らかな表面を有することを特徴とする洗浄ノズル。
IPC (3件)：
B05B 7/04 ,  B08B 3/02 ,  H01L 21/304 643
FI (3件)：
B05B 7/04 ,  B08B 3/02 B ,  H01L 21/304 643 C
Fターム (31件)：
3B201AA03 ,  3B201AB23 ,  3B201AB34 ,  3B201AB42 ,  3B201BB22 ,  3B201BB32 ,  3B201BB38 ,  3B201BB45 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3B201BB98 ,  3B201CC13 ,  3B201CD11 ,  4F033QA09 ,  4F033QB02Y ,  4F033QB03X ,  4F033QB12Y ,  4F033QB15X ,  4F033QD03 ,  4F033QD15 ,  4F033QE23 ,  4F033QE28 ,  4F033QF07Y ,  4F033QF08X ,  4F033QF15Y ,  4F033QK04X ,  4F033QK04Y ,  4F033QK08X ,  4F033QK08Y ,  4F033QK18X ,  4F033QK18Y
引用特許：
審査官引用 (5件)
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