2スピンドル切削装置における切削方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小野尚純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-370330
公開番号（公開出願番号）：特開2003-173986
出願日： 2001年12月04日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：

【要約】【課題】プリカットされた切削ブレードを装着した2個のスピンドルユニットを互いに対向して配設した2スピンドル切削装置において、被加工物の裏面に欠けを発生させることなく良好に切断することができる切削方法を提供する。【解決手段】チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための所定の切削条件でプリカットされた切削ブレードをそれぞれ装着した2個のスピンドルユニットを具備し、該2個のスピンドルユニットが切削ブレードを互いに対向して配設されている2スピンドル切削装置における切削方法であって、所定の切削条件と異なる一方のスピンドルユニットに装着される所定の切削条件によってプリカットされた切削ブレードによって、被加工物に所定深さの切削溝を形成するハーフカット工程と、所定の切削条件に設定された他方のスピンドルユニットに装着される所定の切削条件によってプリカットされた切削ブレードによって、ハーフカット工程によって形成された切削溝に沿って被加工物を切断する切断工程とを含んでいる。

請求項（抜粋）：

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための所定の切削条件でプリカットされた切削ブレードをそれぞれ装着した2個のスピンドルユニットとを具備し、該2個のスピンドルユニットが切削ブレードを互いに対向して配設されている2スピンドル切削装置における切削方法であって、所定の切削条件と異なる一方のスピンドルユニットに装着された切削ブレードによって、被加工物に所定深さの切削溝を形成するハーフカット工程と、所定の切削条件に設定された他方のスピンドルユニットに装着された切削ブレードによって、該ハーフカット工程によって形成された切削溝に沿って被加工物を切断する切断工程と、を含む、ことを特徴とする2スピンドル切削装置における切削方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

精密切削装置及び切削方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-176935 出願人：株式会社ディスコ
ダイシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-007929 出願人：株式会社東京精密
プリカット方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-336011 出願人：株式会社ディスコ

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