特許

J-GLOBAL ID：200903094560068190

マイクロミル

発明者： 坂井 三郎 ,  高安 克己 ,  デイビッド デットマン
出願人/特許権者： 独立行政法人海洋研究開発機構 ,  国立大学法人島根大学
代理人 (1件)： 大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-161011
公開番号（公開出願番号）：特開2006-334703
出願日： 2005年06月01日
公開日（公表日）： 2006年12月14日
要約：

【課題】 試料における所期の微小な領域部分を、高い精度で正確に切削することができるマイクロミルを提供すること。【解決手段】 マイクロミルは、試料載置面を有するステージと、このステージの上方に位置するよう設けられた、ステージの試料載置面に保持された試料を切削するための回転切削ドリルと、ステージおよび回転切削ドリルの両者を離接方向に相対的に移動させる移動機構とを備えてなるマイクロミルであって、 回転切削ドリルは、水平な回動軸の周りに回動可能な支持機構により支持され、その回転切削ドリルの回転軸の試料載置面に対する傾斜角度が調整可能であることを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

試料載置面を有するステージと、このステージの上方に位置するよう設けられた、ステージの試料載置面に保持された試料を切削するための回転切削ドリルと、ステージおよび回転切削ドリルの両者を離接方向に相対的に移動させる移動機構とを備えてなるマイクロミルであって、 回転切削ドリルは、水平な回動軸の周りに回動可能な支持機構により支持され、その回転切削ドリルの回転軸の試料載置面に対する傾斜角度が調整可能であることを特徴とするマイクロミル。

IPC (1件)：

B23B 39/14

FI (1件)：

B23B39/14

Fターム (3件)：

3C036AA10 ,  3C036EE23 ,  3C036LL01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ロボットアーム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-163887   出願人：三共鋼業株式会社
• 単結晶ダイヤモンドをその先端に有するエンドミル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-360087   出願人：マイクロ・ダイヤモンド有限会社
• 多結晶ダイヤモンドをその先端に有したドリル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-360578   出願人：西江寛
• 微細加工用工具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-278557   出願人：住友電気工業株式会社