特許
J-GLOBAL ID：200903094560068190

マイクロミル

発明者：
坂井 三郎

坂井 三郎 について

, 
高安 克己

高安 克己 について

, 
デイビッド デットマン

デイビッド デットマン について


出願人/特許権者：
独立行政法人海洋研究開発機構

独立行政法人海洋研究開発機構 について

, 
国立大学法人島根大学

国立大学法人島根大学 について


代理人 (1件)： 大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-161011
公開番号（公開出願番号）：特開2006-334703
出願日： 2005年06月01日
公開日（公表日）： 2006年12月14日
要約：
【課題】 試料における所期の微小な領域部分を、高い精度で正確に切削することができるマイクロミルを提供すること。【解決手段】 マイクロミルは、試料載置面を有するステージと、このステージの上方に位置するよう設けられた、ステージの試料載置面に保持された試料を切削するための回転切削ドリルと、ステージおよび回転切削ドリルの両者を離接方向に相対的に移動させる移動機構とを備えてなるマイクロミルであって、 回転切削ドリルは、水平な回動軸の周りに回動可能な支持機構により支持され、その回転切削ドリルの回転軸の試料載置面に対する傾斜角度が調整可能であることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料載置面を有するステージと、このステージの上方に位置するよう設けられた、ステージの試料載置面に保持された試料を切削するための回転切削ドリルと、ステージおよび回転切削ドリルの両者を離接方向に相対的に移動させる移動機構とを備えてなるマイクロミルであって、 回転切削ドリルは、水平な回動軸の周りに回動可能な支持機構により支持され、その回転切削ドリルの回転軸の試料載置面に対する傾斜角度が調整可能であることを特徴とするマイクロミル。
IPC (1件)：
B23B 39/14
FI (1件)：
B23B39/14
Fターム (3件)：
3C036AA10 ,  3C036EE23 ,  3C036LL01
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM