特許
J-GLOBAL ID：200903094646305683

固体撮像装置、及びその製造方法

発明者：
中嶋 義満

中嶋 義満 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (1件)： 佐々木 晴康 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-100230
公開番号（公開出願番号）：特開2001-284566
出願日： 2000年04月03日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
要約：
【要約】【課題】 パッシベーション膜の段差をなくすことができ、入射した光を受光部に集光させることができる固体撮像装置を提供する。【解決手段】 シリコン基板1上に光電変換を行う受光部2と、前記受光部2の受光面を覆うことなく設けられた遮光膜4とを有し、前記遮光膜4と前記受光部2とを覆うパッシベーション膜5を有する固体撮像装置に於いて、前記パッシベーション膜5の上面が平坦であることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に光電変換を行う受光部と、前記受光部の受光面を覆うことなく設けられた遮光膜とを有し、前記遮光膜と前記受光部とを覆うパッシベーション膜を有する固体撮像装置に於いて、前記パッシベーション膜の上面が平坦であることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (4件)：
H01L 27/14 ,  H01L 21/318 ,  H01L 31/10 ,  H04N 5/335
FI (4件)：
H01L 21/318 M ,  H04N 5/335 U ,  H01L 27/14 D ,  H01L 31/10 A
Fターム (45件)：
4M118AA01 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118CA33 ,  4M118CA34 ,  4M118CA40 ,  4M118CB13 ,  4M118CB14 ,  4M118EA01 ,  4M118FA06 ,  4M118GB06 ,  4M118GB17 ,  4M118GD04 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024EX43 ,  5C024GX12 ,  5F049MA02 ,  5F049MB03 ,  5F049NB05 ,  5F049PA14 ,  5F049QA04 ,  5F049QA11 ,  5F049QA15 ,  5F049QA20 ,  5F049SE05 ,  5F049SE12 ,  5F049SZ10 ,  5F049SZ12 ,  5F049SZ20 ,  5F049TA12 ,  5F049TA13 ,  5F058BA09 ,  5F058BA20 ,  5F058BC02 ,  5F058BC08 ,  5F058BC09 ,  5F058BF02 ,  5F058BF12 ,  5F058BF46 ,  5F058BH11 ,  5F058BH20 ,  5F058BJ03
引用特許：
審査官引用 (5件)
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