特許
J-GLOBAL ID:200903094670901165

研磨装置及びそれを用いた研磨ロボット及び研磨方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 光石 俊郎 ,  光石 忠敬 ,  田中 康幸 ,  松元 洋
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-313335
公開番号(公開出願番号):特開2006-123059
出願日: 2004年10月28日
公開日(公表日): 2006年05月18日
要約:
【課題】 湾曲面においても、表面を滑らかに研磨し、磨きむらや磨き残し等のない研磨装置、研磨ロボット及び研磨方法を提供する。【解決手段】 弾性部材32を介して湾曲面が形成されたベルト状のサンドベルト30を、サンドベルト30を回転可能に支持するコンタクトホイール33により、加工部材の湾曲部に押し付けて、面接触させ、駆動ホイール31により、サンドベルト30を回転駆動させて、ワークの湾曲部を研磨する。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
面接触可能なように弾性部材を介して湾曲面が形成され、被加工物の湾曲部に前記湾曲面が押し付けられる研磨部材と、 前記研磨部材を支持し、かつ、研磨運動をさせる支持駆動手段とを備えたことを特徴とする研磨装置。
IPC (3件):
B24B 21/16 ,  B24B 19/14 ,  B24B 27/00
FI (3件):
B24B21/16 ,  B24B19/14 ,  B24B27/00 A
Fターム (11件):
3C049AA02 ,  3C049AA05 ,  3C049AA11 ,  3C049BB06 ,  3C049CB03 ,  3C058AA02 ,  3C058AA05 ,  3C058AA11 ,  3C058BA02 ,  3C058BB06 ,  3C058CB03
引用特許:
出願人引用 (3件)

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