特許
J-GLOBAL ID：200903094699588415
COG型液晶表示素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高野 明近
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-191673
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019554
出願日： 1998年07月07日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】 ゲートCOGの電源リード部のタンタル膜によるゲート,ソース両電極の間にITO膜による絵素配線電極を積層したリード部を引き出す場合に起きる膜の密着性の低下や膜剥がれのない液晶表示素子を提供する。【解決手段】 ガラス基板1上に成膜したタンタル膜をパターニングしゲート配線2を形成後、陽極酸化し表層部にTaOx膜を形成しゲート絶縁膜4としてSiNxを形成するが、ゲートCOGの電源リード部の入出力部分のみ絶縁膜を除き、その他は絶縁膜4を残す。絵素電極8となる透明導電材料ITOとタンタルを成膜後パターニングし、ソース・ドレイン電極配線10を形成する。コンタクトをなすゲートタンタル膜,絵素ITO膜,ソースタンタル膜の重なり幅を100μm以下として、残した絶縁膜によりリード部の良好な密着性を得る。上層に保護膜(図示せず)を形成しTFT-LCDマトリクス基板を構成する。
請求項（抜粋）：
透明絶縁性基板上に表示絵素に応じてマトリクス状に配置される電極と該電極をつなぐ配線をそれぞれがもつゲート電極配線及びソース電極配線と、前記ゲート電極及び前記ソース電極で囲まれた領域それぞれにスイッチング素子と該スイッチング素子により選択駆動される絵素電極を配置し、該絵素電極によって液晶への印可電圧を制御するCOG型液晶表示素子において、前記電極配線を電源につなぐゲートCOG電源リード線の入力部と出力部におけるゲート電極配線上では、スイッチング動作に要するものとしてゲート電極上に成層された絶縁膜を除き、前記絵素電極を直接積層し、前記ゲートCOG電源リード線の入力部と出力部のその他のリード部分は、該絶縁膜を残すことを特徴とするCOG型液晶表示素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02F 1/136
, H01L 29/78 612 C
2H092GA41
, 2H092GA42
, 2H092JA36
, 2H092JB24
, 2H092JB26
, 2H092JB33
, 2H092JB57
, 2H092KA12
, 2H092KA18
, 2H092KB04
, 2H092MA05
, 2H092MA24
, 2H092NA18
, 2H092NA28
