特許
J-GLOBAL ID：200903094838701795
端面研磨機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 詔男 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-081237
公開番号（公開出願番号）：特開平10-277899
出願日： 1997年03月31日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：
【要約】【課題】 複数枚のガラス基板の一括処理が行え、異なるサイズのガラス基板にも容易に対応でき、良好な端面研磨形状が得られる端面研磨機を提供する。【解決手段】 ガラス基板1を保持する基板受け部の幅がガラス基板のサイズに合わせて自動調節可能とされ、複数の基板受け部によって複数枚のガラス基板を多段に収納するカセット型ステージ2と、複数枚のガラス基板の端面と接触するように複数の凹型砥石3が多段に設けられた砥石部4と、この砥石部が取り付けられカセット型ステージの両側に配置された回転軸9と、ガラス基板の幅と研磨量に合わせて回転軸を自動的に移動させる回転軸位置決め部5、を具備する。
請求項（抜粋）：
矩形のガラス基板を保持する基板受け部の幅がガラス基板のサイズに合わせて自動調節可能とされ、複数の基板受け部によって複数枚のガラス基板を多段に収納するカセット型ステージと、このカセット型ステージに保持された複数枚のガラス基板の端面と接触するように、研磨面の中央部が窪んだ複数の凹型砥石が多段に設けられた砥石部と、この砥石部が取り付けられ、ガラス基板の2辺を処理するために前記カセット型ステージの両側に配置された第1の回転軸と、ガラス基板の幅と研磨量に合わせて前記第1の回転軸を自動的に移動させ、位置固定させる回転軸位置決め部を具備したことを特徴とする端面研磨機。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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