特許
J-GLOBAL ID：200903094850175268
基板加熱チャンバー及びこの基板加熱チャンバーを備えた情報記録ディスク用基板処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
保立 浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-255596
公開番号（公開出願番号）：特開2001-081556
出願日： 1999年09月09日
公開日（公表日）： 2001年03月27日
要約：
【要約】【課題】 大きさの異なる各種の基板に対して高い面内温度均一性で加熱処理を行ったり、意図的に温度勾配を形成しながら加熱したりする。【解決手段】 チャンバー本体31内で、基板保持具90が円盤状の基板9の周縁に当接して基板9を保持し、基板9と同軸に配置された円環状の輻射加熱源33からの輻射線により基板9が加熱される。円錐形を軸に垂直な面で切断した下側の形状に相当する筒状の周囲遮蔽具34が基板9と同軸に設けられ、基板9の周囲の領域への輻射線を遮蔽する。周囲遮蔽具34の稜線は基板9の周縁に交差するとともに、周囲用位置調節機構が周囲遮蔽具34を軸方向に変位させる。輻射加熱源33と基板9との間に設けられた円板状の中央遮蔽具36は、基板9の中央部への輻射線を遮蔽するとともに、中央用位置調節機構により軸方向に変位する。
請求項（抜粋）：
内部で基板を加熱する気密な基板加熱チャンバーであって、輻射線が基板に到達するよう配置された輻射加熱源と、基板と同一な平面上であって基板の周縁を取り囲む領域への輻射線の到達を防止する周囲遮蔽具とを備えていることを特徴とする基板加熱チャンバー。
IPC (4件)：
C23C 14/50
, C23C 16/458
, G11B 5/84
, G11B 7/26 521
C23C 14/50 E
, C23C 16/458
, G11B 5/84 Z
, G11B 7/26 521
4K029BD11
, 4K029DA08
, 4K029DA10
, 4K029JA01
, 4K030GA02
, 4K030KA12
, 4K030KA24
, 5D112AA02
, 5D112AA24
, 5D112GA19
, 5D112GB03
, 5D121AA02
, 5D121GG02
, 5D121GG07
, 5D121GG28
