特許
J-GLOBAL ID：200903001222189421
磁気記録媒体及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-062315
公開番号（公開出願番号）：特開平8-085868
出願日： 1995年03月22日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：
【要約】【目的】簡便な方法によりディスク基板の面内温度分布を均一に制御できる基板の加熱方法を実現することにより、面内膜質特性の均一な磁気記録媒体を得る。さらに、基板の反り又は割れが生じることを防止し、高温に基板を加熱するすることにより、高保磁力を有する磁気記録媒体及びその製造方法を提供する。【構成】ヒータ8によりディスク基板10を加熱しながら基板上に磁性膜等を形成する場合、ヒータ8の前に、構造を工夫したマスク9を配置して基板に到達する熱量を制御するようにした。即ちマスク9は、ディスクの中心部に対応して、ヒータが発する熱放射線を遮蔽する部分と、この遮蔽部分の周囲に熱放射線を透過する部分を有するように構成される。ヒータ8の前に配置されたマスク9により、基板の加熱は制御される。これによりディスク基板の中央部は異常に加熱されず、基板の反り又は割れの発生が防止できる。また、この結果、磁性膜の保磁力が2000エルステッド以上で、かつ面内保磁力分布が±5%以内の、高密度記録に好適な磁気ディスク媒体が得られる。
請求項（抜粋）：
ヒータにより基板を加熱しながら該基板上に薄膜を形成する基板の加熱方法において、該ヒータが発する熱放射線を透過する部分と該熱放射線を遮蔽する部分とを有するマスクを、前記ヒータの前に配置し、該ヒータにより該基板を加熱することを特徴とする基板の加熱方法。
IPC (4件)：
C23C 14/34
, C23C 14/04
, G11B 5/82
, G11B 5/85
