特許

J-GLOBAL ID：200903094874997110

真空室内の基板のコーティング方法及び装置

発明者： ゲッツ テシュナー ,  ユルゲン ブルーフ
出願人/特許権者： ライボルト アクチエンゲゼルシヤフト
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-183538
公開番号（公開出願番号）：特開平7-078588
出願日： 1994年08月04日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：

【要約】【目的】 大型かつ大電力のコーティング装置のために、操作者が、ある特定のコーティングプロセスに障害となるアークのみが抑圧されるようにこのコーティング装置を調整することを可能にするアーク早期検出及び抑圧装置を構成する。【構成】 真空室内の基板のコーティング装置において、予め決めた時間区間で電流値及び電圧値を検出して実際値信号を形成して測定装置に供給する。アークが発生すると交流発生器をスイッチオフする。アーク監視及び測定値検出のパラメータを例えばSPSのソフトウェアを用いて前もって定める。

請求項（抜粋）：

プロセスガス入口(3)を有する真空室(1)の中に設けられているスパッタ陰極(4,5)と、スパッタする材料から成るスパッタターゲット(6,7)と、前記陰極(4,5)に複導体(10)を介して接続されている交流発生器(9)と、障害アークの検出及び抑圧のための測定装置(16)とを具備する、真空室内の基板のコーティング装置において、交流発生器(9)の交流信号のそれぞれの半波を多数の時間区間に分割し、予め決めた時間区間(R又はA)で電流値及び電圧値を検出して実際値信号を形成し、前記実際値信号を、アースされていない測定装置(16)に供給し、その場合、電圧を、2つの前記陰極(4,5)の間に挿入接続した補償された対称分圧器(12)を介して求め、かつ電流を、1つの前記陰極(5)へのリード線の途中に挿入接続した変圧器(13)を介して求め、前記測定装置(16)をリモートステーションとしてリング状ネットワーク(9,16,17,18,19,11)の中に挿入接続し、前記リング状ネットワーク(9,16,17,18,19,11)のマスタステーションを、前記発生器(9)の中に設けられ制御装置(11)の中に設け、アークが発生すると前記発生器(9)を、前記測定装置(16)を発生器(9)に接続している接続線(19)を介してスイッチオフし、このために、アーク監視及び測定値検出のパラメータを前記ネットワーク(17,18,19)を介してソフトウェアを用いて前もって定めたことを特徴とする真空室内の基板のコーティング装置。

IPC (2件)：

H01J 37/32 ,  C23C 14/34

引用特許：

出願人引用 (2件)

• アーク放電防止回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-117836   出願人：株式会社芝浦製作所
• スパッタリング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-300150   出願人：株式会社島津製作所