特許
J-GLOBAL ID：200903094887261741

半導体製造ライン生産システム

発明者：
井手 繁章

井手 繁章 について


出願人/特許権者：
九州日本電気株式会社

九州日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-174888
公開番号（公開出願番号）：特開2001-005520
出願日： 1999年06月22日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：
【要約】【課題】半導体製造ラインに対する改善活動の評価を容易化する。【解決手段】複数の半導体製造装置1および通信端末2とホストコンピュータ3で構成されるシステム部分は、従来のシステムと同一構成である。サーバ4は、ホストコンピュータ3とオンライン接続され、このホストコンピュータ3に対しロット履歴として前日保存した作業報告データを処理日ごとに転送要求してCSVファイル形式で入力し、ロット履歴より長期間のデータベースとして保存し、ローカルエリアネットワーク全体で共有するサービスを行う。パーソナルコンピュータ5は、サーバ4とローカルエリアネットワークで接続され、半導体製造ラインに対する改善活動を評価する改善前後の対象期間,機種または機番を入力し、これら対象期間,機種または機番に対応した作業報告データをサーバ4のデータベースから抽出し、データ集計・演算,グラフ化または印刷を行う。
請求項（抜粋）：
半導体製造ラインの各処理工程に設置され処理条件などの作業指示データに基づき複数ロットをそれぞれ処理しそれら処理ロットのロット番号,処理開始時間,装置の機番,処理枚数などの作業報告データを出力する複数の半導体製造装置と、前記作業報告データ,前記作業指示データをそれぞれ送受信する複数の通信端末と、前記半導体製造ラインで製造仕掛かり中の全ロットの前記作業報告データを前記各通信端末から受信してロット履歴として保存しこれらロット履歴の解析結果に対応して前記作業指示データをそれぞれ作成して前記各通信端末に送信し前記半導体製造ラインに仕掛かり中の全ロットの進捗管理を行うホストコンピュータとを備える半導体製造ライン生産システムにおいて、前記ホストコンピュータとオンライン接続されこのホストコンピュータに対し前記ロット履歴として前日保存した作業報告データを処理日ごとに転送要求してCSVファイル形式で入力し前記ロット履歴より長期間のデータベースとして保存しローカルエリアネットワーク全体で共有するサービスを行うサーバと、このサーバとローカルエリアネットワークで接続され前記半導体製造ラインに対する改善活動を評価する改善前および改善後の対象期間、および対象装置の機種または機番を入力しこれら対象期間、および対象装置の機種または機番に対応した作業報告データを前記サーバのデータベースから抽出し、データ集計・演算,グラフ化または印刷を行うパーソナルコンピュータとを備えることを特徴とする半導体製造ライン生産システム。
IPC (4件)：
G05B 23/02 301 ,  G05B 23/02 ,  G06F 17/60 ,  H01L 21/02
FI (4件)：
G05B 23/02 301 V ,  G05B 23/02 ,  H01L 21/02 Z ,  G06F 15/21 R
Fターム (20件)：
5B049BB07 ,  5B049CC21 ,  5B049CC31 ,  5B049EE02 ,  5B049EE05 ,  5B049EE59 ,  5B049FF02 ,  5B049FF03 ,  5B049FF04 ,  5B049GG04 ,  5B049GG07 ,  5H223AA05 ,  5H223CC08 ,  5H223CC09 ,  5H223DD03 ,  5H223DD09 ,  5H223EE06 ,  9A001CC08 ,  9A001JJ44 ,  9A001KK54
引用特許：
審査官引用 (4件)
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