特許
J-GLOBAL ID:200903094915961614

波長特性測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 志賀 正武 (外8名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-125373
公開番号(公開出願番号):特開2000-314661
出願日: 1999年04月30日
公開日(公表日): 2000年11月14日
要約:
【要約】【課題】 波長特性測定を実施するにあたって、広い波長範囲にわたって高速かつ高い波長確度で波長トラッキングを行える波長特性測定装置を実現する。【解決手段】 光スペクトラムアナライザ100および波長可変光源101は掃引の同期開始機能を備える。分光素子119の回転角度に対する出力信号光波長特性と分光器104の抽出波長特性から、設定された掃引波長範囲にわたって両波長が一致するように、分光器104内の回折格子の角度を可変させるモータ106の回転速度の補正関数を求め、この補正関数に従って、分光器104を駆動するモータ106の回転角度を設定波長毎に可変させて掃引を行ってゆく。
請求項(抜粋):
信号光を出力する波長可変光源と、該信号光を被測定物に入射して得られる被測定光のスペクトル分布を計測する光スペクトラムアナライザとを用いて、前記被測定物の光波長特性を測定する波長特性測定装置において、前記光スペクトラムアナライザは、第1の分光素子によって前記被測定光から特定の波長成分を抽出する分光手段と、前記第1の分光素子の角度を可変させて抽出波長を所定の掃引波長範囲にわたって掃引する第1の駆動手段とを備え、前記波長可変光源は、前記信号光とした単一モード信号光を出力するレーザ素子と該レーザ素子を任意の波長でレーザ発振させる第2の分光素子とで構成される外部発振器と、前記第2の分光素子の角度を可変させて前記信号光の信号光波長を前記掃引波長範囲にわたって掃引する第2の駆動手段とを備え、前記第1及び第2の駆動手段は、互いに掃引開始の同期をとる手段をそれぞれ有するとともに、前記掃引波長範囲にわたって前記抽出波長および前記信号光波長が一致するように、前記第1の分光素子の回転角度に対する抽出波長特性および前記第2の分光素子の回転角度に対する信号光波長特性から導出される回転補正関数に従って、前記第1の分光素子又は前記第2の分光素子の回転角度を可変制御することを特徴とする波長特性測定装置。
IPC (2件):
G01J 3/28 ,  G01J 3/18
FI (2件):
G01J 3/28 ,  G01J 3/18
Fターム (12件):
2G020CB21 ,  2G020CB23 ,  2G020CB41 ,  2G020CB42 ,  2G020CC02 ,  2G020CC13 ,  2G020CC26 ,  2G020CC42 ,  2G020CC55 ,  2G020CD22 ,  2G020CD34 ,  2G020CD51
引用特許:
審査官引用 (3件)

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