液晶表示パネル用カラーフィルター残膜除去装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-244593
公開番号（公開出願番号）：特開平8-082790
出願日： 1994年09月12日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】【目的】画素のダメージが少なく、かつ、短時間でレジスト残膜の除去を行うことのできる液晶表示パネル用カラーフィルター残膜除去装置を提供する。【構成】カラーフィルター基板を所定の温度に加熱する加熱部と、紫外線と高濃度オゾンを含むガスを作用させて不要の有機物残膜を除去する除去処理部と備える。高濃度オゾンを含むガスとして、まず酸素を原料ガスとして生成した高濃度オゾンを含むガスを用い、次いで酸素に分圧比で0.5〜10%の窒素を添加して生成した高濃度オゾンを用いる。

請求項（抜粋）：

液晶表示パネル用カラーフィルターの画素以外の部分に残っているレジストの現像残り等の不要な有機化合物残膜を除去する液晶表示パネル用カラーフィルター残膜除去装置であって、カラーフィルター基板を所定の温度に加熱する加熱部と、紫外線と高濃度オゾンを含むガスを作用させて不要の有機物残膜を除去する除去処理部と備えたことを特徴とする液晶表示パネル用カラーフィルター残膜除去装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

カラーフィルタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-200505 出願人：大日本印刷株式会社
特開昭62-011824
カラーフィルターの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-055990 出願人：キヤノン株式会社

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