特許

J-GLOBAL ID：200903094956173183

常圧パルスプラズマ発生方法

発明者： 屋良 卓也
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-294477
公開番号（公開出願番号）：特開2002-110397
出願日： 2000年09月27日
公開日（公表日）： 2002年04月12日
要約：

【要約】【課題】 大気圧条件下で、高周波電源を用いた高周波交流パルス波を印加して安定した放電状態を実現させたパルスプラズマの発生方法の提供。【解決手段】 大気圧近傍の圧力下において対向電極の少なくとも一方の対向面に固体誘電体を設置し、該対向電極間にパルス化された電界を印加することによりグロー放電を生じさせる方法であって、高周波交流パルス波を印加してプラズマを生成することを特徴とするグロー放電プラズマ発生方法、特に放電開始時に高電圧直流をパルス化した電界を印加した後に、高周波交流パルス波を印加してグロー放電プラズマを発生する方法。

請求項（抜粋）：

大気圧近傍の圧力下において対向電極の少なくとも一方の対向面に固体誘電体を設置し、該対向電極間にパルス化された電界を印加することによりグロー放電を生じさせる方法であって、高周波交流パルス波を印加してプラズマを生成することを特徴とするグロー放電プラズマ発生方法。

IPC (5件)：

H05H 1/24 ,  B01J 19/08 ,  H01L 21/31 ,  H05H 1/46 ,  C23C 16/515

FI (5件)：

H05H 1/24 ,  B01J 19/08 H ,  H01L 21/31 C ,  H05H 1/46 A ,  C23C 16/515

Fターム (29件)：

4G075AA24 ,  4G075BC01 ,  4G075BC04 ,  4G075BC10 ,  4G075CA16 ,  4G075CA25 ,  4G075CA47 ,  4G075CA63 ,  4G075DA02 ,  4G075DA03 ,  4G075EB01 ,  4G075EC21 ,  4G075FC11 ,  4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030BA29 ,  4K030BA44 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA03 ,  4K030JA03 ,  4K030KA30 ,  5F045AA08 ,  5F045AB32 ,  5F045AF03 ,  5F045DP03 ,  5F045DQ10 ,  5F045EF05 ,  5F045EH13

引用特許：

審査官引用 (3件)

• グロー放電プラズマ処理方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-133716   出願人：積水化学工業株式会社
• プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-015731   出願人：ソニー株式会社
• 特開平2-126690