ゲッター、ゲッターを有する気密容器および画像形成装置、ゲッターの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山下穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-039648
公開番号（公開出願番号）：特開2000-311588
出願日： 2000年02月17日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：

【要約】【課題】従来のゲッターに比較して、吸着能力を持続でき、プロセス上高温低真空状態を経験しても、十分な特性が確保できようにする。【解決手段】表面に凹凸を有する、Zr又はZrを主成分として含む下地面上にTi又はTiを主成分として含む組成物が積層されてなるゲッター。

請求項（抜粋）：

ZrもしくはTiの少なくともいずれかを含む下地面上にゲッター層を有することを特徴とするゲッター。

IPC (5件)：

H01J 7/18 , B01J 20/02 , H01J 9/39 , H01J 29/94 , H01J 31/12

FI (5件)：

H01J 7/18 , B01J 20/02 B , H01J 9/39 A , H01J 29/94 , H01J 31/12 C

引用特許：

審査官引用 (5件)

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