物体の塗布状態評価方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野河信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-082553
公開番号（公開出願番号）：特開平9-273913
出願日： 1996年04月04日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：

【要約】【課題】プラズマディスプレイパネルの蛍光体塗布状態を評価する方法に関し、基板に形成された蛍光体層の形状を非破壊検査によって、プラズマディスプレイパネルの製造工程中に検出することを課題とする。【解決手段】表面に複数の平行なリブを有する基板の各リブ間に塗布される蛍光体の塗布状態を評価する方法であって、蛍光体塗布前および塗布後の基板表面を複数のリブを横切るように変位計で走査して蛍光体塗布前後における基板表面までの距離を計測し、その蛍光体の塗布前後において得られた計測データの比較結果に基づいて蛍光体の塗布状態を評価する工程からなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

第1物体の表面の一部に塗布される第2物体の塗布状態を評価する方法であって、第2物体の塗布前および塗布後の第1物体の表面を変位計で走査して塗布前後における第1物体の表面までの距離を計測し、第2物体の塗布前後において得られた計測データの比較結果に基づいて第2物体の塗布状態を評価することを特徴とする物体の塗布状態評価方法。

IPC (4件)：

G01B 11/06 , B05D 3/00 , G01B 21/08 , H01J 9/42

FI (4件)：

G01B 11/06 Z , B05D 3/00 Z , G01B 21/08 , H01J 9/42 A

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平1-136009
接着剤塗布方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-185384 出願人：ティーディーケイ株式会社
特開昭60-093903

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審査官引用 (15件)

特開平1-136009
特開平1-136009
特開平3-086274

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