圧電発振素子

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-215322
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038913
出願日： 1996年07月26日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【目的】静電容量式の加速度検出器において、より高精度で小型化、低価格化した加速度検出器の製造を目的とする。【構成】圧電素板の片面中心部に錘を具備し、圧電素板の平面を切り放さずに4分割しその各々の両面に電極を構成して成る圧電振動子と、この圧電振動子の電極と対向する各々の面に構成された電極との容量とにより構成される圧電振動子を用いて、圧電振動子の電極とその電極に対向する電極間との容量の変化分を周波数に換算して加速度を検知することで、圧電振動子にかかるXY平面に平行な任意の加速度の大きさと方向を検知することにより目的を達成した。

請求項（抜粋）：

圧電振動子の電極と、その電極と対向する面に設けた対向電極間とで容量を持たせる構造を有する圧電発振素子において、該圧電振動子の電極と、該圧電振動子の電極に対向する少なくとも一面に設けられた対向電極との間に発生する容量変化で周波数変化を検出することを特徴とする圧電発振素子。

IPC (2件)：

G01P 15/125 , H03H 9/17

FI (2件)：

G01P 15/125 , H03H 9/17 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

加速度計
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-237146 出願人：日本航空電子工業株式会社
ヨーレートセンサの温度補償方法及び温度補償装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-324626 出願人：アイシン精機株式会社, トヨタ自動車株式会社
加速度計及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-062868 出願人：富士通株式会社

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