真空ポンプ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-138047
公開番号（公開出願番号）：特開平11-351190
出願日： 1999年05月19日
公開日（公表日）： 1999年12月21日
要約：

【要約】【課題】ターボ-分子セクションと少なくとも分子ドラグセクションとを備えた複合真空ポンプであって、これらのセクションを一体に取り付けたときにスペースを非常に効率的に使用できる複合真空ポンプを提供することにある。【解決手段】少なくとも分子ドラグセクションと、ターボ-分子セクションと、両セクションに共通のロータと、両セクションに共通のステータとを有する真空ポンプであって、ターボ-分子セクションの全体が、分子ドラグセクションにより形成される包囲体内に配置されていることを特徴とする真空ポンプ。

請求項（抜粋）：

少なくとも分子ドラグセクションと、ターボ-分子セクションと、両セクションに共通のロータと、両セクションに共通のステータとを有する真空ポンプにおいて、ターボ-分子セクションの全体が、分子ドラグセクションにより形成される包囲体内に配置されていることを特徴とする真空ポンプ。

引用特許：

出願人引用 (3件)

改良真空ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-151478 出願人：ザビーオーシーグループピーエルシー
真空ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-276055 出願人：株式会社大阪真空機器製作所
特開昭63-109299

審査官引用 (3件)

改良真空ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-151478 出願人：ザビーオーシーグループピーエルシー
真空ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-276055 出願人：株式会社大阪真空機器製作所
特開昭63-109299

前のページに戻る